| Nome da marca: | zmsh |
As placas SiC do tipo HPSI (Carburo de Silício Semi-Isolador de Alta Pureza) são materiais ópticos fundamentais em óculos de IA e AR. Com um alto índice de refração (2,6 - 2.2).7 @ 400 - 800 nm) e características de baixa absorção óptica, resolvem eficazmente questões como os "efeitos arco-íris" e a transmissão insuficiente da luz que são comuns nos materiais tradicionais de vidro ou resina utilizados para os guias de onda AR.Os óculos AR Orion da Meta utilizam lentes de guia de onda HPSI SiC, alcançando um campo de visão ultra largo (FOV) de 70° - 80° com uma espessura de lente de uma única camada de apenas 0,55 mm e um peso de 2,7 g, aumentando significativamente o conforto de uso e a imersão.
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| Parâmetro | Grau | Substrato de 4 polegadas | Substrato de 6 polegadas |
|---|---|---|---|
| Diâmetro | Grau Z / Grau D | 99.5 mm - 100.0 mm | 149.5 mm - 150,0 mm |
| De poliéster | Grau Z / Grau D | 4H | 4H |
| Espessura | Grau Z | 500 μm ± 15 μm | 500 μm ± 15 μm |
| Grau D | 500 μm ± 25 μm | 500 μm ± 25 μm | |
| Orientação da wafer | Grau Z / Grau D | No eixo: <0001> ± 0,5° | No eixo: <0001> ± 0,5° |
| Densidade dos microtubos | Grau Z | ≤ 1 cm2 | ≤ 1 cm2 |
| Grau D | ≤ 15 cm2 | ≤ 15 cm2 | |
| Resistividade | Grau Z | ≥ 1E10 Ω·cm | ≥ 1E10 Ω·cm |
| Grau D | ≥ 1E5 Ω·cm | ≥ 1E5 Ω·cm | |
| Orientação plana primária | Grau Z / Grau D | (10-10) ± 5,0° | (10-10) ± 5,0° |
| Duração plana primária | Grau Z / Grau D | 32.5 mm ± 2,0 mm | Notch |
| Duração plana secundária | Grau Z / Grau D | 18.0 mm ± 2,0 mm | - |
| Exclusão de borda | Grau Z / Grau D | 3 mm | 3 mm |
| LTV / TTV / Arco / Warp | Grau Z | ≤ 2,5 μm / ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 30 μm | ≤ 2,5 μm / ≤ 6 μm / ≤ 25 μm / ≤ 35 μm |
| Grau D | ≤ 10 μm / ≤ 15 μm / ≤ 25 μm / ≤ 40 μm | ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 40 μm / ≤ 80 μm | |
| Resistência à corrosão | Grau Z | Polish Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm | Polish Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm |
| Grau D | Polish Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm | Polish Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,5 nm | |
| Fissuras de borda | Grau D | Área acumulada ≤ 0,1% | Comprimento acumulado ≤ 20 mm, único ≤ 2 mm |
| Áreas de politipo | Grau D | Área acumulada ≤ 0,3% | Área acumulada ≤ 3% |
| Inclusões de carbono visuais | Grau Z | Área acumulada ≤ 0,05% | Área acumulada ≤ 0,05% |
| Grau D | Área acumulada ≤ 0,3% | Área acumulada ≤ 3% | |
| Riscos na superfície do silício | Grau D | 5 permitidos, cada um ≤ 1 mm | Comprimento acumulado ≤ 1 x diâmetro |
| Chips de borda | Grau Z | Nenhum permitido (largura e profundidade ≥ 0,2 mm) | Nenhum permitido (largura e profundidade ≥ 0,2 mm) |
| Grau D | 7 permitidos, cada um ≤ 1 mm | 7 permitidos, cada um ≤ 1 mm | |
| Dislocação do parafuso de rosca | Grau Z | - | ≤ 500 cm2 |
| Embalagem | Grau Z / Grau D | Cassete de várias placas ou recipiente de uma única placa | Cassete de várias placas ou recipiente de uma única placa |
Como entidade integrada de fabrico e comércio, a ZMSH fornece soluções de ponta a ponta para produtos SiC:
Os fornos de crescimento de cristais internos produzem wafers de tipo 4H-N, 4H-HPSI, 6H-P e 3C-N (2 a 12 polegadas), com parâmetros personalizáveis (por exemplo, concentração de dopagem, resistência à curvatura).
P1: Por que o HPSI SiC Wafer é crítico para óculos AR?
A1: O alto índice de refração da HPSI SiC Wafer (2.6 - 2.7) e a baixa absorção óptica eliminam os efeitos do arco-íris nas telas AR, permitindo guias de onda ultrafinos (por exemplo, as lentes de 0,55 mm do Meta Orion).
P2: Como o HPSI SiC difere do vidro tradicional na óptica AR?
A2: O HPSI SiC oferece o dobro do índice de refração do vidro (~ 2,0), permitindo um FOV mais amplo e guias de onda de camada única, além de condutividade térmica de 490 W/m·K para gerenciar o calor dos Micro LEDs.
P3: O HPSI SiC é compatível com outros materiais semicondutores?
R3: Sim, ele se integra com GaN e silício em sistemas híbridos, mas sua estabilidade térmica e propriedades dielétricas o tornam superior para ópticas AR de alta potência.
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