Detalhes do produto:
Condições de Pagamento e Envio:
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tamanho: | 2 polegadas, 4 polegadas, 6 polegadas, 5 × 5,10 × 10 | Constante dielétrica: | 9.7 |
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Dureza da superfície: | HV0.3> 2500 | Densidade: | 3,21 g/cm3 |
Coeficiente de expansão térmica: | 4,5 x 10-6/k | Tensão de quebra: | 5,5 mV/cm |
Aplicações: | Comunicações, sistemas de radar | ||
Destacar: | 4H-SiC substrate MOS grade,5x5 mm SiC substrate,N-type SiC substrate wafer |
2 polegadas 4 polegadas 6 polegadas 8 polegadas 5×5 mm 10×10 mm 4H-SiC Substratos 3C-N Tipo MOS Grau
O substrato de carburo de silício (3C-SiC) de tipo 3C-N é um material semicondutor de banda larga baseado na estrutura cristalina cúbica (3C),Fabricado por epitaxia na fase líquida (LPE) ou transporte físico de vapor (PVT) Suporta tamanhos padrão de 2 polegadas a 8 polegadas, bem como dimensões personalizadas (por exemplo, 5×5 mm, 10×10 mm).2 eV) , e alta condutividade térmica (49 W/m·K), tornando-o ideal para aplicações de dispositivos de alta frequência, alta temperatura e alta potência.
1- Desempenho elétrico.
- Não.
2Estabilidade térmica e química
- Não.
3Compatibilidade de processos
1. Comunicações 5G e Dispositivos RF
- Não.
2Veículos elétricos (VE)
3. Sistemas industriais e energéticos
4Aeronáutica e Defesa.
- Não.
- Não.Grau. | Grau de produção de MPD zero (Gradão Z) | Grau de produção padrão (grau P) | Grau D | ||
Diâmetro | 145.5 mm150,0 mm | ||||
Espessura | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientação da wafer | Fora do eixo: 2,0°-4,0° para a direção [1120]±0,5° para 4H/6H-P, no eixo: 111 ±0,5° para 3C-N | ||||
** Densidade dos microtubos | 0 cm−2 | ||||
** Resistividade | Tipo p 4H/6H-P | ≤ 0,1 Ω·cm | ≤ 0,3 Ω·cm | ||
Tipo n 3C-N | ≤ 0,8 mΩ·cm | ≤ 1 mΩ·cm | |||
Orientação plana primária | 4H/6H-P | {1010} ± 5,0° | |||
3C-N | {110} ± 5,0° | ||||
Duração plana primária | 32.5 mm ± 2,0 mm | ||||
Duração plana secundária | 180,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientação plana secundária | Silício virado para cima, 90° CW. a partir de Prime flat ±5,0° | ||||
Exclusão de borda | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TIV/Bow/Warp | ≤ 2,5 μm/≤ 5 μm/≤ 15 μm/≤ 30 μm | ≤ 10 μm/≤ 15 μm/≤ 25 μm/≤ 40 μm | |||
* Esforço | PolonêsRa≤1 nm | ||||
CMPRa≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Fissuras de borda por luz de alta intensidade | Nenhum | Comprimento acumulado ≤ 10 mm, comprimento único ≤ 2 mm | |||
* Placas hexadecimais por luz de alta intensidade | Área acumulada ≤ 0,05% | Área acumulada≤0,1% | |||
* Áreas de politipo por luz de alta intensidade | Nenhum | Área acumulada≤3% | |||
Inclusões de carbono visuais | Nenhum | Área acumulada ≤ 0,05% | |||
A superfície do silício arranha-se com a luz de alta intensidade | Nenhum | Comprimento acumulado ≤ 1 × diâmetro da wafer | |||
Chips de borda de alta intensidade de luz | Nenhum permitido, largura e profundidade ≥ 0,2 mm | 5 permitidos, ≤ 1 mm cada | |||
Contaminação da superfície do silício por alta intensidade | Nenhum | ||||
Embalagem | Cassete com várias placas ou recipiente de uma única placa |
Notas:
* Os limites de defeitos aplicam-se a toda a superfície da bolacha, com excepção da zona de exclusão da borda.
*Os arranhões devem ser verificados apenas na face de Si.
Q1: Quais são as principais aplicações de substratos SiC de tipo 3C-N de 2 polegadas, 4 polegadas, 6 polegadas, 8 polegadas, 5 × 5 mm e 10 × 10 mm?
R: Eles são amplamente utilizados em módulos de RF 5G, sistemas de energia EV e dispositivos industriais de alta temperatura devido à sua alta mobilidade eletrônica e estabilidade térmica.
P2: Como os substratos de SiC do tipo 3C-N se comparam ao 4H-SiC tradicional em desempenho?
R: O SiC do tipo 3C-N oferece menor resistência e melhor desempenho de alta frequência (até 2,7 × 107 cm/s de velocidade de elétrons), ideal para RF e eletrônica de potência compacta.
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