Placa portadora revestida com SiC de alta pureza para manuseio e transferência de wafer

Placa portadora revestida com SiC de alta pureza para manuseio e transferência de wafer

A placa transportadora SiC (placa transportadora de carburo de silício) é um componente cerâmico de alto desempenho amplamente utilizado em setores de manufatura avançados, como semicondutores, LEDs e eletrônicos de potência.Reconhecido pela sua excepcional resistência térmica, alta condutividade térmica, baixa expansão térmica e resistência mecânica superior, é a solução ideal para processos de alta temperatura.incluindo o projeto, fabricação, testes e suporte pós-venda, garantindo desempenho e confiabilidade ideais para manuseio de wafer, crescimento epitaxial e outras aplicações críticas.

Especificação técnica:

Principais características doPlaca portadora de SiC

1.Resistência a temperaturas ultra-altasFuncionamento estável até 1650°C, ideal para CVD, MOCVD e outros processos de alta temperatura.

2.Gestão térmica superiorA condutividade térmica de 120-200 W/m·K garante uma rápida dissipação de calor e minimiza o esforço térmico.

3.Baixa expansão térmica(4.3×10−6/K) ∆ Estabilidade dimensional excepcional a altas temperaturas, evitando desalinhamento ou rachaduras de wafer.

4.Alta dureza e resistência ao desgasteDureza de Mohs de 9.2, muito superior ao quartzo e ao grafite, prolonga a vida útil.

5.Inercia química- Resistente a ácidos, álcalis e erosão plasmática, adequado para ambientes adversos.

6.Alta pureza e livre de contaminaçãoOs níveis de impurezas metálicas < 1 ppm, que cumprem os padrões de limpeza de nível de semicondutores.

Aplicações primárias dePlaca portadora de SiC

- Não.

· Fabricação de semicondutores¢ Epitaxia de wafer (GaN/SiC), transportador da câmara de reação CVD.

· Produção de LEDSuporta substratos de safira para crescimento uniforme da MOCVD.

· Eletrónica de Potência¢ Transportador de sinterização a alta temperatura para dispositivos de potência de SiC/GaN.

· Embalagens avançadasO substrato de colocação de precisão e processamento a laser.

Compatibilidade dos processos, materiais e aplicações

Imagem dos produtosPlaca portadora de SiC

A ZMSH fornece soluções abrangentes de ponta a ponta para placas transportadoras de carburo de silício (placas transportadoras de SiC), oferecendo serviços de design personalizados com dimensões personalizadas, padrões de aberturae tratamentos de superfície, incluindo polir espelhos e revestimentos especializados, fabricação de precisão utilizando processos CVD/RBSiC que mantêm uma consistência de lote rigorosa dentro de tolerâncias de ± 0,05 mm, protocolos rigorosos de inspeção de qualidade,Entrega acelerada de protótipos com 72 horas de resposta, e suporte técnico global com capacidade de resposta 24 horas por dia, 7 dias por semana, garantindo aos clientes produtos de alto desempenho com excepcional uniformidade e fiabilidade para as suas aplicações críticas.