A Serra de Fio de Precisão para Corte de Bolachas de Semicondutores é um sistema de fatiamento industrial desenvolvido para aplicações que exigem movimento controlado do fio, tensão estável, alimentação de precisão, corte de seção fina e rigidez consistente da máquina.

O equipamento integra fornecimento e recolhimento de fio, travessia de fio, controle de tensão, rodas guia, acionamento principal do rolo, alimentação da peça de trabalho, circulação de lama, troca de calor e controle elétrico em uma única plataforma de máquina. A documentação do equipamento fornecida identifica sua aplicação industrial pretendida como fatiamento de bolachas de semicondutores.

Com uma velocidade máxima especificada do fio de 2200 m/min, uma faixa de diâmetro de fio suportada de 0,014–0,10 mm, tensão ajustável de 0 a 15 N e alimentação de corte variável de 0,01 a 5 mm/min, o sistema fornece uma plataforma flexível para processos de fatiamento de bolachas com fio fino.

Esta máquina pode ser considerada para linhas de produção de semicondutores, produção piloto, instalações de processamento de materiais e ambientes de pesquisa onde a precisão de fatiamento, a estabilidade do fio e a repetibilidade do equipamento são importantes.

Principais Vantagens

Operação de Fio de Alta Velocidade

A máquina suporta uma velocidade máxima de fio de:

2200 m/min

Alta velocidade do fio é especialmente importante quando se usa fio mais fino, pois a força de corte e a estabilidade do processo devem ser mantidas à medida que o diâmetro do fio diminui.

A faixa de diâmetro de fio disponível é:

0,014 mm a 0,10 mm

Isso permite que os usuários selecionem as especificações do fio de acordo com o processo de fatiamento alvo.

Tensão de Fio Ajustável

A tensão do fio pode ser controlada de:

0–15 N

O braço de tensão é usado para manter o fio de aço na tensão selecionada durante a operação. De acordo com a configuração da máquina, o sistema de controle de tensão é acionado por motor e pode ser ajustado de acordo com os requisitos do processo.

Tensão estável é uma das condições mecânicas chave para manter o movimento previsível do fio durante o fatiamento de bolachas.

Controle de Alimentação de Precisão

A máquina usa uma unidade de alimentação controlada com um curso máximo de aproximadamente:

220 mm

Velocidade de alimentação de corte:

0,01–5 mm/min

Velocidade de alimentação rápida:

200 mm/min

A peça de trabalho é fixada na unidade de alimentação e movida através da área de corte de acordo com os parâmetros de processo selecionados.

Capacidade de Processamento

O envelope de processamento padrão especificado para o equipamento é:

O sistema também suporta carregamento combinado de peças de trabalho de acordo com a configuração técnica original.

Especificações Técnicas

Estes parâmetros são retirados da configuração do equipamento fornecido.

Sistema Integrado de Gerenciamento de Fio

A máquina inclui vários subsistemas coordenados responsáveis pelo controle do movimento do fio.

Unidade de Enrolamento de Fio

A unidade de enrolamento contém o carretel de fio novo e o carretel receptor. É responsável pelo fornecimento e armazenamento do fio de aço durante a operação da máquina.

Unidade de Travessia de Fio

O mecanismo de travessia ajuda o fio a desenrolar suavemente e a rebobinar uniformemente.

Braço de Tensão

A unidade de tensão mantém o fio em uma tensão controlada durante o fatiamento.

Rodas Guia

As rodas guia são usadas para direcionar o fio e suportar a viagem estável do fio.

Unidade do Eixo Principal

A seção do eixo principal realiza a operação de fatiamento real entre os rolos.

Unidade de Alimentação

A peça de trabalho é fixada no sistema de alimentação e movida a uma velocidade programada durante o corte.

Essas unidades são descritas como os principais componentes do sistema geral da máquina.

Sistema de Lama e Resfriamento

A máquina de corte é equipada com um sistema de circulação de lama com capacidade de tanque de:

300 L

O tanque de lama fornece fluido de resfriamento e corte durante o processamento.

Um trocador de calor é usado para controlar a temperatura do líquido de corte através de água de resfriamento externa. Os requisitos especificados de água de resfriamento incluem:

O circuito de água de resfriamento usa isolamento para reduzir a condensação.

Estrutura Rígida da Máquina

O invólucro da máquina usa uma estrutura de aço de alta resistência, enquanto a base usa uma construção fundida integrada para melhorar a rigidez geral.

O equipamento também é projetado com uma bandeja sob a máquina para reduzir a possibilidade de vazamento de líquido de corte diretamente no piso de instalação.

Um dispositivo de segurança pneumático é instalado na seção superior do equipamento para melhorar a segurança e a estabilidade da plataforma de elevação.

Arquitetura de Acionamento Direto

O sistema de acionamento usa acoplamento direto.

De acordo com a especificação do equipamento fornecido, os principais benefícios da estrutura de acionamento direto incluem:

• Menor ruído operacional
• Menor consumo de peças de desgaste
• Maior precisão de acionamento

Os rolos principais também são acionados individualmente por motor. Este projeto visa reduzir a carga transferida do fio para os rolos e reduzir o desgaste da ranhura do rolo e o consumo de fio.

Espaçamento Compacto dos Rolos

O espaçamento documentado do eixo do rolo é de aproximadamente:

270 mm

O espaçamento menor é projetado para reduzir a distância entre os rolos principais e, assim, melhorar as condições de corte.

De acordo com a documentação técnica original, este projeto visa melhorar o rendimento de corte, reduzindo o tempo de processamento e o consumo de fio.

Monitoramento de Quebra de Fio

A quebra de fio é um risco de processo importante durante o fatiamento de bolachas.

O equipamento inclui detecção de quebra de fio como parte de sua configuração técnica padrão.

A máquina também usa monitoramento de alarme de quebra em dupla face para melhorar a sensibilidade de detecção de quebra. Seu sistema de controle incorpora proteção destinada a reduzir a quebra de fio durante interrupções de energia inesperadas.

Precisão Mecânica

A especificação de aceitação da máquina inclui vários parâmetros importantes de inspeção mecânica:

Esses valores definem os requisitos de aceitação documentados em nível de máquina.

Capacidade de Corte de Bolachas Finas

A documentação do equipamento afirma:

Precisão de corte: ±0,01 mm

e

Espessura mínima de fatiamento: <0,05 mm

A espessura exata alcançável em produção dependerá da peça de trabalho, especificação do fio, receita do processo, fluido de corte, método de manuseio e rendimento necessário.

Para projetos de bolachas muito finas, os clientes devem fornecer a espessura e a tolerância alvo antes que a configuração do equipamento seja finalizada.

Requisitos Elétricos e de Instalação

Potência padrão da máquina:

CA trifásica de quatro fios 380 V ±10%, 50/60 Hz

A documentação técnica especifica a instalação de cabo de cobre de 16 mm² ou superior.

O consumo de energia da máquina referenciado é de aproximadamente:

5 kWh

O consumo real pode variar com as condições de operação e sistemas auxiliares.

Ambiente de Instalação Recomendado

As condições ambientais recomendadas incluem:

A especificação da máquina também confirma o suporte para uma capacidade máxima de armazenamento de fio acima de 100 km ao usar fio de Ø0,03 mm, seis rodas guia, um tanque de lama de 300 L e fixação hidráulica da peça de trabalho.

Aplicação

A aplicação documentada deste equipamento é:

Fatiamento de Bolachas de Semicondutores.

Projetos típicos de clientes podem envolver diferentes diâmetros de bolachas, espessuras alvo e requisitos de produção.

Como o comportamento de corte varia significativamente por material, os clientes que planejam processar diferentes materiais semicondutores ou duros e quebradiços devem fornecer as informações do material à ZMSH para avaliação do processo antes de confirmar a configuração final da máquina.

Configuração Personalizada do Equipamento

Diferentes projetos de bolachas de semicondutores podem exigir diferentes:

• Diâmetro do fio
• Tensão do fio
• Velocidade de alimentação
• Fixação da peça de trabalho
• Condições de resfriamento
• Configuração da lama
• Interface de comunicação
• Capacidade de produção

As configurações opcionais listadas na documentação do equipamento incluem comunicação SECS II, equipamento de resfriamento e controle de temperatura da fixação da peça de trabalho.

A ZMSH pode, portanto, avaliar a configuração do equipamento de acordo com os requisitos do processo do cliente.

Informações para Cotação

Para uma cotação ou avaliação técnica, por favor, forneça:

1. Material
2. Dimensões da peça de trabalho
3. Dimensões da bolacha requeridas
4. Espessura alvo da bolacha
5. Tolerância de espessura
6. Quantidade por lote
7. Capacidade mensal ou diária
8. Especificação do fio, se já definida
9. Precisão de corte requerida
10. Condições da água de resfriamento
11. Fonte de alimentação da fábrica
12. Funções opcionais requeridas

Fornecer esses detalhes ajuda a determinar a máquina e a configuração do processo apropriadas.

FAQ

Qual é a velocidade máxima do fio de corte?

A velocidade máxima especificada do fio é de 2200 m/min.

Qual diâmetro de fio a máquina pode usar?

A faixa de diâmetro de fio especificada é de 0,014–0,10 mm.

Quão fina a máquina pode fatiar?

A documentação do equipamento afirma que espessuras de fatiamento abaixo de 0,05 mm são possíveis sob as condições operacionais relevantes.