Placa de sucção de vácuo de quartzo fundido personalizada para manuseio de wafer de semicondutores

Placa de sucção de vácuo de quartzo fundido personalizada para manuseio de wafer de semicondutores

A placa de sucção de vácuo de quartzo fundido customizado também conhecido como um chuck de vácuo de quartzo, disco de sucção de quartzo, ou suporte de wafer de quartzo é usado para apoiar, posição,e reter wafers ou substratos de precisão através de adsorção controlada a vácuo.

Fabricado a partir de quartzo fundido de alta pureza, o componente combina baixa expansão térmica, excelente resistência química, estabilidade a altas temperaturas e baixo potencial de contaminação.É adequado para semicondutores, fotovoltaicos, ópticos, laboratoriais e outros ambientes de processamento de alta pureza.

A placa pode ser fabricada com canais de vácuo personalizados, aberturas centrais, tubos de quartzo, portas, interfaces escalonadas e estruturas de conexão soldadas.As dimensões e as condições da superfície são produzidas de acordo com os requisitos de design e funcionamento do equipamento do cliente..

Características fundamentais

Quartzo fundido de alta pureza

Feito de sílica fundida de alta qualidade com baixos níveis de impurezas metálicas, ajudando a minimizar a contaminação durante o manuseio da bolacha e o processamento do substrato.

Baixa expansão térmica

O baixo coeficiente de expansão térmica ajuda a placa a manter a estabilidade dimensional quando exposta a mudanças de temperatura.

Resistência química

O quartzo fundido proporciona excelente resistência a muitos ácidos e produtos químicos de processo utilizados em ambientes de semicondutores e laboratórios.e meios de processo específicos devem ser avaliados separadamente.

Estrutura de vácuo personalizada

As portas de vácuo, aberturas centrais, conexões de gás, portas de transferência de líquido, ranhuras e tubos de quartzo soldados podem ser projetados de acordo com o layout do equipamento.

Processamento de superfície de precisão

As opções de moagem, polimento mecânico, polimento a fogo, lapagem e limpeza estão disponíveis para atender a diferentes requisitos de planura, vedação, limpeza e condição da superfície.

Fabricação baseada em desenhos

Cada placa de sucção de vácuo de quartzo pode ser fabricada a partir de um desenho técnico, amostra física, dimensões do equipamento ou especificações de aplicação.

Especificações do produto

As dimensões máximas, as tolerâncias alcançáveis, as condições térmicas, o nível de vácuo e as limitações de pressão devem ser avaliadas em função do projecto final e do ambiente de funcionamento.

Aplicações típicas

• Equipamento de manipulação de wafers semicondutores
• Adsorção e posicionamento a vácuo da bolacha
• Sistemas de alinhamento de substrato de precisão
• Câmaras de processo e sistemas de reação de quartzo
• Bancos úmidos e equipamento de processamento químico
• Processamento de células solares e de wafers fotovoltaicos
• Manipulação de vidro e de substratos ópticos
• Sistemas de vácuo de laboratório
• Equipamento químico de alta pureza
• De potência não superior a 1000 W

Opções de design personalizadas

A placa de vácuo de quartzo pode ser personalizada com:

• Furações centrais ou aberturas em repouso
• Portas de sucção de vácuo múltiplas
• Granulas e canais de distribuição de vácuo
• Tubos e conectores de quartzo soldados
• Portas retas, angulares ou escalonadas
• Conexões de flange de quartzo
• Padrões de buracos personalizados
• Áreas localmente polidas ou foscas
• De borda ramificada ou arredondada
• Orifícios de posicionamento ou elementos de alinhamento
• Condições de superfície transparente, translúcida ou fosca

A geometria do canal de vácuo e a distribuição do buraco de sucção devem ser concebidas de acordo com o tamanho da bolacha, a espessura do substrato, a força de retenção necessária e a área de contato admissível.

Capacidades de fabrico

Fornecemos serviços integrados de fabricação de quartzo, incluindo:

• Fabricação de placas de quartzo fundido de grande diâmetro
• Machining CNC de precisão
• Perforação de buracos e corte de perfis
• Fabricação a vácuo de sulcos e canais
• Tubos de quartzo e soldadura por portão
• Fabricação de flanges de quartzo
• Moagem, laminação e polimento de superfícies
• Arrancamento e arredondamento de bordas
• Recheio térmico
• Limpeza ultra-sônica e de alta pureza
• Inspecção dimensional e visual

Desenhos de abertura complexos, portas soldadas e estruturas de ligação personalizadas podem ser fabricados de acordo com desenhos técnicos detalhados.

Vantagens das placas de vácuo de quartzo fundido

Em comparação com os componentes convencionais de metal, plástico ou vidro, o quartzo fundido oferece várias vantagens para processamento de alta pureza:

• Baixo risco de contaminação por metais
• Excelente estabilidade térmica
• Baixo coeficiente de expansão térmica
• Boa resistência a muitos produtos químicos de processo
• Adequado para aplicações em salas limpas e de alta pureza
• Construção transparente ou translúcida para observação de processos
• Alta estabilidade dimensional em condições de funcionamento controladas
• Portos, aberturas, sulcos e estruturas de ligação personalizáveis

A adequação do quartzo fundido deve ser confirmada em função da carga mecânica exigida, do nível de vácuo, das condições de ciclo térmico e do ambiente químico.

Informações necessárias para a citação

Forneça as seguintes informações para avaliação técnica e cotação:

1. Diâmetro total ou dimensões externas
2. Espessura da chapa
3. Dimensões da abertura central
4. Quantidade, diâmetro e posição das portas de vácuo
5. Disposição de canais ou canais de vácuo
6. Dimensões de ligação de porta, tubo ou flange
7. Requisitos de acabamento da superfície
8. Tolerâncias de planura e dimensões
9. Temperatura de funcionamento e condições do ciclo térmico
10. Nível de vácuo ou pressão de funcionamento
11. Produtos químicos ou gases de processo em contacto com o componente
12. Quantidade exigida
13. Desenho técnico, amostra física ou fotografia do equipamento

Recomenda-se um desenho dimensionado para componentes que exijam um posicionamento preciso da porta, geometria do canal de vácuo ou tolerâncias de montagem apertadas.

Inspecção da qualidade

Dependendo do desenho e da aplicação, cada placa de sucção de quartzo pode ser inspeccionada para:

• Diâmetro e espessura globais
• Dimensões da abertura e da porta
• Precisão da posição do porto
• Planura e paralelismo
• Condição da superfície
• Geometria do sulco de vácuo
• Integridade da solda
• Qualidade da borda
• Chips, rachaduras, arranhões e outros defeitos visuais
• Limpeza
• Proteção das embalagens

Cada componente é protegido individualmente com espuma, filme ou embalagem personalizada para reduzir o risco de arranhões, impactos e quebras durante o transporte.

Perguntas frequentes

1Pode ser personalizado o diâmetro da placa e as posições da porta de vácuo?

Sim, o diâmetro, espessura, dimensões de abertura, quantidade de porta, tamanho da porta, layout do sulco e posições da porta podem ser fabricados de acordo com o seu desenho.

2Pode fabricar a placa de sucção de quartzo a partir de uma amostra física?

Sim, podemos avaliar e reproduzir um componente a partir de uma amostra física, no entanto, é recomendável um desenho técnico dimensionado quando são necessárias tolerâncias ou posições de porta precisas.

3Pode-se mecanizar sulcos ou canais de vácuo na placa de quartzo?

Sim, as ranhuras, os canais, as áreas empenhadas e os padrões dos buracos de sucção podem ser usinados de acordo com a distribuição de vácuo e o design de contato do substrato exigidos.

4Quais os acabamentos de superfície disponíveis?

Os acabamentos disponíveis incluem superfícies moídas, foscas, lavadas, polidas mecânicamente e polidas a fogo.e limpeza.

5O quartzo fundido é adequado para equipamentos de semicondutores?

Sim, o quartzo fundido é amplamente usado em equipamentos semicondutores por causa de sua alta pureza, estabilidade térmica, durabilidade química e baixo potencial de contaminação metálica.

6Podem ser soltos tubos de quartzo ou portas de ligação na placa?

Sim, tubos de quartzo, portas de vácuo, juntas e estruturas de flange podem ser soldados na placa de acordo com o design de ligação de gás, vácuo ou líquido necessário.

7Pode garantir uma tolerância específica de planura?

A capacidade de planície depende do diâmetro da chapa, espessura, layout de abertura, estruturas soldadas e acabamento da superfície.

8Pode a placa ser utilizada sob pressão positiva?

O produto é destinado principalmente à adsorção e ao posicionamento a vácuo. Aplicações a pressão positiva exigem uma avaliação separada da geometria, espessura da parede, juntas soldadas, temperatura,e condições de segurança.