Componente Óptico de Espelho SiC de Alta Pureza Polido Dupla Face para Micromirror MEMS

Componente óptico de espelho SiC de alta pureza polido de dois lados para microespelho MEMS

A Small-Size Double-Side Polished Silicon Carbide (SiC) Mirror is a high-performance optical component manufactured from ​​ultra-high-purity silicon carbide (SiC) ceramic​​ through ​​precision machining and double-side polishing (DSP) technology​​As suas características principais incluem dimensões compactas (normalmente ≤ 50 mm de diâmetro ou comprimento lateral) e acabamento da superfície em nanoescala em ambos os lados,especialmente concebido para sistemas optoeletrônicos modernos de ponta com requisitos extremos de tamanho, peso, estabilidade e precisão óptica. Aproveitando as propriedades inerentes do carburo de silício, ultra-alta dureza, alta rigidez, baixa expansão térmica, alta condutividade térmica,e excepcional estabilidade química ­ é produzido através de processos como a sinterização por reação, deposição química de vapor (CVD), ou sinterização sem pressão.5 nm) permite que sirva como um componente central em muitos dispositivos ópticos de precisão compactos.

Características dos espelhos de SiC

Scenário de aplicação do espelho SiC

Os espelhos de SiC polidos de dois lados de tamanho pequeno são criticamente utilizados nos seguintes campos de ponta devido às suas vantagens únicas:

Material chave e parâmetros de desempenho do espelho SiC

 

- Não.Categoria de parâmetros	Nome do parâmetro	Valor típico/intervalo
Características do material	Materiais primários	SiC de ultra-alta pureza
	Densidade	~ 3,0 3,2 g/cm3
	Modulo elástico	> 400 GPa
	Coeficiente de expansão térmica	~ 4,5 × 10−6/°C
	Conductividade térmica	~ 120 200 W/ ((m·K)
	Dureza de Mohs	9.5
Propriedades ópticas e de superfície	Roughness da superfície (Ra, DSP)	≤ 0,5 nm
	Precisão da figura da superfície (PV/RMS)	Até λ/10 @ 632,8 nm ou superior
Características Dimensionais	Faixa de tamanho comum	Diâmetro ou comprimento lateral 20 ̊50 mm
Características funcionais	Temperatura de funcionamento	-50°C a 500°C (ou superior, dependendo do processo)

 

 

---

 

Produtos cerâmicos de SiC da ZMSH

 

 

1. SiC Quadrado Espelho Espelho-Grade Polido para máquina de litografia

 

 

 

 

2. SiC cerâmica de vácuo Chuck Flip-chip ligação espelho polir alta rigidez

 

 

 

1P: Como funcionam os espelhos de SiC na óptica?

A: Os espelhos de SiC funcionam aproveitando o coeficiente de expansão térmica extremamente baixo do carburo de silício (~ 4,5 × 10−6 °C), alta condutividade térmica (~ 120 ‰ 200 W/m·K),e alta rigidez (> 400 GPa) para manter a estabilidade da superfície em nanoescala sob temperaturas extremas e tensões mecânicas, garantindo uma distorção mínima em sistemas ópticos de alta precisão, como telescópios espaciais ou equipamentos de litografia EUV.

2Q: Como funciona um espelho de carburo de silício (SiC) em ambientes extremos?

R: Os espelhos de carburo de silício (SiC) se destacam em ambientes extremos devido ao seu coeficiente de expansão térmica extremamente baixo e à sua excepcional estabilidade térmica.em aplicações espaciais, funcionam de forma fiável numa gama de temperaturas compreendida entre -60°C e 180°C. Nos sistemas LiDAR automotivos, onde as temperaturas do compartimento do motor podem exceder 125°C,Os espelhos de SiC mantêm a deformação da superfície mínimaAlém disso, a sua elevada dureza (dureza de Mohs de 9,5) e a sua superior inércia química permitem uma resistência eficaz às vibrações, aos impactos e à corrosão por ácidos ou álcalis,Garantia da estabilidade a longo prazo em condições adversas.

Tags: # Espelho SiC, #Customizado, # Polido de dois lados, # Alta Pureza, # Componente Óptico, # Resistente à Corrosão, # Temperatura Alta, # Micromirror MEMS