Detalhes do produto:
Condições de Pagamento e Envio:
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Sistema de raios-X.: | Tubo de raio X | Tamanho da amostra: | Wafer: 2–12 polegadas; Lingote: ≤200 mm (diâmetro) × 500 mm (comprimento) |
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Distância angular: | θ: -10° a +50°, 2θ: -10° a +110° | Precisão de orientação: | ±10″–±30″ (modelos de alta precisão: ±3″) |
Movimento de vários eixos: | Posicionamento do eixo X/Y/Z, rotação de 360° ±15°, controlo da inclinação | Velocidade de varredura: | Orientação completa em 10 segundos (totalmente automatizada) |
aplicações: | Fabricação de semicondutores, processamento de materiais ópticos | ||
Destacar: | Instrumento de Orientação de Bolacha para Determinação do Ângulo de Corte,Instrumento de Orientação de Bolacha de Alta Precisão |
Instrumento de Orientação de Bolacha Baseado em XRD para Determinação de Ângulo de Corte de Alta Precisão
Um instrumento de orientação de bolacha é um dispositivo de alta precisão baseado na tecnologia de difração de raios X (XRD), projetado para as indústrias de semicondutores e materiais ópticos para determinar a orientação da rede cristalina e os ângulos de corte. Seus componentes principais incluem:
Categoria de Parâmetro | Parâmetro | Especificações/Descrição |
Sistema de Raios X |
Tubo de Raios X | Alvo de cobre (Cu), foco de 0,4×1 mm, resfriado a ar |
Tensão/Corrente de Raios X | 30 kV, 0–5 mA ajustável | |
Tipo de Detector | Tubo Geiger-Müller (baixa energia) ou contador de cintilação (alta energia) | |
Constante de Tempo | 0,1/0,4/3 seg ajustável | |
Goniômetro |
Tamanho da Amostra | Bolacha: 2–12 polegadas; Lingote: ≤200 mm (diâmetro) × 500 mm (comprimento) |
Faixa Angular | θ: -10° a +50°, 2θ: -10° a +110° | |
Precisão de Orientação | ±10″–±30″ (modelos de alta precisão: ±3″) | |
Resolução Angular | Leitura mínima: 1″ (digital) ou 10″ (escala) | |
Velocidade de Varredura | Orientação completa em 10 segundos (totalmente automatizada) | |
Automação e Controle |
Estágio de Amostra | Ranhura em V (bolachas de 2–8 polegadas), alinhamento de borda/OF, capacidade de 1–50 kg |
Movimento Multi-eixos | Posicionamento nos eixos X/Y/Z, rotação de 360° ±15°, controle de inclinação | |
Interface | PLC/RS232/Ethernet, compatível com MES | |
Especificações Físicas |
Dimensões | 1130×650×1200 mm (C×L×A) |
Peso | 150–300 kg | |
Requisitos de Energia | Monofásico 220V±10%, 50/60 Hz, ≤0,5 kW | |
Nível de Ruído | <65 dB (operacional) | |
Recursos Avançados |
Controle de Tensão em Malha Fechada | Monitoramento em tempo real, regulação de tensão de 0,1–1,0 MPa |
Otimização Impulsionada por IA | Detecção de defeitos, alertas de manutenção preditiva | |
Compatibilidade com Vários Materiais | Suporta cristais cúbicos (Si), hexagonais (safira) e assimétricos (YAG) |
O dispositivo opera por meio de difração de raios X e tecnologias de varredura Omega:
1. Difração de Raios X:
2. Varredura Omega:
3. Controle Automatizado:
Recurso
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Descrição
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Parâmetros Técnicos/Estudos de Caso
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Ultra-Alta Precisão
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Precisão de varredura Omega ±0,001°, resolução FWHM da curva de rocking <0,005°
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Erro de corte da bolacha de carbeto de silício ≤±0,5°
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Medição de Alta Velocidade |
Aquisição de varredura única de todos os dados cristalográficos, 200× mais rápido que o manual
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Teste em lote de bolachas de silício: 120 bolachas/hora
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Compatibilidade com Vários Materiais |
Suporta cristais cúbicos (Si), hexagonais (safira) e assimétricos (YAG)
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Materiais aplicáveis: SiC, GaN, quartzo, granada
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Integração de IA
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Algoritmos de aprendizado profundo para detecção de defeitos, otimização de processos em tempo real
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A triagem de defeitos reduz a taxa de sucata para <1%
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Design Modular
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Plataforma X-Y expansível para mapeamento 3D ou integração EBSD
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Detecção de densidade de deslocamento de bolacha de silício ≤100 cm⁻²
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1. Fabricação de Semicondutores:
2. Processamento de Materiais Ópticos:
3. Ligas e Cerâmicas de Alta Temperatura:
4. Pesquisa e Controle de Qualidade:
1. P: Como calibrar um instrumento de orientação de bolacha?
R: A calibração envolve o alinhamento da fonte de raios X e do detector usando cristais de referência, geralmente exigindo <0,001° de precisão angular e ajustes de software automatizados para precisão.
2. P: Qual é a precisão típica de um instrumento de orientação de bolacha?
R: Modelos de ponta alcançam ±0,001° de precisão, fundamental para o corte de bolachas de semicondutores e análise de defeitos de cristal em indústrias como fotovoltaica e cerâmica avançada.
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