Equipamento totalmente automático de precisão para corte de wafer de 12 polegadas

Resumo

Equipamento totalmente automático de precisão para corte de wafer de 12 polegadas

A serra de corte de precisão totalmente automática é um sistema avançado de corte de semicondutores projetado para separação de alta precisão de wafers (8"/12") e materiais frágeis.Utilização da tecnologia da lâmina de diamante (30,000-60,000 RPM), ele atinge precisão de corte de nível de micrômetro (± 2μm) com um mínimo de chipping (< 5μm), superando métodos alternativos em aplicações de semicondutores e embalagens avançadas.O sistema integra fendões de alta rigidez, estágios de posicionamento nanométrico e alinhamento de visão inteligente para operação não tripulada, atendendo aos rigorosos requisitos da fabricação moderna de chips e do processamento de semicondutores de terceira geração.

Parâmetros técnicos

Vantagens

1. A digitalização de quadros de cassete de alta velocidade com sistema de alerta de prevenção de colisões permite um posicionamento rápido e preciso e uma capacidade superior de correção de erros;

2O modo de corte sincrono inovador de duplo fuso aumenta a eficiência de processamento em 80% em comparação com os sistemas de fuso único;

3. Parafusos de esferas importados premium, guias lineares e controle de circuito fechado da grade do eixo Y garantem a estabilidade de usinagem a longo prazo;

4. A operação totalmente automatizada (carregamento/posicionamento/corte/inspecção) reduz significativamente a intervenção manual;

5. O design único de espinha dupla de estilo pórtico com um espaçamento mínimo de 24 mm entre as lâminas acomode diversos requisitos de corte;

Características

1Sistema de medição de altura sem contacto de alta precisão;

2. Capacidade de corte simultâneo de duas lâminas com várias placas;

3. Sistemas de detecção inteligentes (calibração automática/inspecção da marca de corte/monitorização da ruptura da lâmina);

4Algoritmos de alinhamento multimodo adaptáveis aos vários requisitos do processo;

5Monitorização da posição em tempo real com correcção automática de erros;

6Mecanismo de verificação da qualidade do primeiro corte;

7. Integração do módulo de automação de fábrica personalizável;

Materiais e aplicações de adaptação

Efeito de usinagem