Efetor final de cerâmica SiC para manuseio de wafer - Resistente à corrosão e ao calor para processamento de semicondutores

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December 09, 2025
Conexão de Categoria: Envoltório do laboratório
Resumo: Quer saber como ele se compara a outras opções? Veja a demonstração e decida por si mesmo. Neste vídeo, mostramos o SiC Ceramic End Effector em ação, demonstrando suas capacidades precisas de manuseio de wafer em ambientes de processamento de semicondutores corrosivos e de alta temperatura. Você verá como sua construção em SiC de alta pureza garante confiabilidade e baixa geração de partículas para aplicações em salas limpas.
Características do produto relacionadas:
  • Feito de carboneto de silício (SiC) de alta pureza com pureza ≥99% para desempenho superior.
  • Suporta temperaturas extremas de até 1600°C, ideal para processos de semicondutores de alta temperatura.
  • Excelente resistência a ácidos, bases e ambientes de plasma, garantindo estabilidade química.
  • Alta resistência mecânica com resistência à flexão superior a 400 MPa para durabilidade.
  • O design de baixa geração de partículas mantém a limpeza em salas limpas Classe 1-100.
  • Tamanhos personalizáveis ​​disponíveis para wafers de 4 a 12 polegadas com compatibilidade com braço robótico.
  • Oferece acabamentos de superfície polidos ou foscos para atender às necessidades específicas do usuário.
  • Garante precisão dimensional e confiabilidade no transporte, gravação e deposição de wafers.
FAQ:
  • Qual é o material usado para o SiC Ceramic End Effector?
    O Efetor Final Cerâmico SiC é feito de Carboneto de Silício (SiC) de alta pureza com pureza ≥99%, proporcionando excelente resistência térmica, resistência mecânica e estabilidade química para ambientes severos de processamento de semicondutores.
  • Para quais aplicações o SiC Ceramic End Effector é adequado?
    É ideal para manuseio de wafer, processamento de semicondutores, como gravação e deposição, integração de braço robótico e teste de embalagens e classificação de chips, garantindo desempenho confiável em vários estágios de fabricação.
  • O SiC Ceramic End Effector é compatível com ambientes de sala limpa?
    Sim, o SiC Ceramic End Effector é adequado para uso em salas limpas Classe 1-100, garantindo limpeza ideal e compatibilidade com ambientes de fabricação de semicondutores ultralimpos.