Tubos aplicadores de safira são componentes especializados usados em equipamentos de plasma e processos de semicondutores onde o tubo pode ser exposto a energia de micro-ondas ou RF, gases de processo reativos, temperaturas elevadas e espécies geradas por plasma.

Em sistemas de plasma remotos, o gás de processo pode passar por um tubo aplicador enquanto a energia de micro-ondas é acoplada à região do aplicador para gerar espécies de plasma reativas. A safira é particularmente adequada para este tipo de aplicação devido à sua combinação de estabilidade térmica, isolamento elétrico, resistência química e características de transmissão de micro-ondas/RF.

Nossos tubos aplicadores de safira podem ser fornecidos como tubos individuais ou como conjuntos completos incorporando carcaças metálicas de precisão, conectores roscados, interfaces de vedação e outros componentes mecânicos personalizados.

O produto mostrado aqui combina um tubo de safira de precisão com uma estrutura de montagem metálica usinada e destina-se a ser usado como um componente de substituição ou personalizado para equipamentos de processo de semicondutores.

Principais Características

Material de Safira de Alta Pureza

O tubo aplicador é fabricado em safira sintética adequada para ambientes exigentes de equipamentos de semicondutores.

A safira oferece excelente resistência a altas temperaturas, exposição a plasma e condições de processo quimicamente agressivas, mantendo alta resistência mecânica.

Adequado para Aplicações de Plasma

Tubos de safira são amplamente utilizados em aplicações de processamento de semicondutores, incluindo tubos aplicadores de plasma, tubos de contenção de plasma, componentes injetores de gás de processo e sistemas relacionados de geração de plasma.

Compatível com Micro-ondas e RF

A safira oferece excelentes características dielétricas e capacidade de transmissão de RF/micro-ondas, tornando-a adequada para componentes posicionados dentro de sistemas de geração de plasma remoto ou de micro-ondas.

Fabricação de Tubos de Precisão

As dimensões do tubo podem ser controladas de acordo com os requisitos do cliente, incluindo:

• Diâmetro externo
• Diâmetro interno
• Espessura da parede
• Comprimento total
• Geometria da extremidade
• Estrutura do ombro
• Design da ranhura
• Acabamento da superfície
• Interface de montagem

Montagem de Safira + Metal

Além da fabricação de tubos de safira, podemos fornecer conjuntos integrados incorporando componentes metálicos usinados.

Os serviços disponíveis podem incluir:

• Carcaça metálica de precisão
• Rosca externa
• Estruturas de montagem internas
• Luvas mecânicas
• Flanges
• Interfaces de vedação
• Montagem de safira em metal
• Fabricação de conjunto de substituição

Peças de Reposição Personalizadas

Suportamos peças personalizadas de equipamentos de semicondutores de acordo com:

• Desenhos do cliente
• Amostras originais
• Dimensões do equipamento
• Especificações de componentes existentes
• Números de referência OEM
• Requisitos de engenharia reversa

Isso torna o produto adequado para projetos de manutenção, substituição e localização de equipamentos de semicondutores.

Aplicações Típicas

Tubos aplicadores de safira podem ser usados em equipamentos e processos como:

• Sistemas de Fonte de Plasma Remota
• Limpeza de câmara de plasma
• Geração de plasma por micro-ondas
• Equipamentos CVD para semicondutores
• Equipamentos PECVD
• Equipamentos HDP-CVD
• Equipamentos de gravação por plasma
• Sistemas de gravação a seco
• Entrega de gás de processo
• Sistemas de ativação de gás de plasma
• Peças de reposição para equipamentos de semicondutores

Tubos de safira já são usados comercialmente para aplicadores de plasma de semicondutores, contenção de plasma e aplicações de injetores de gás de processo.

Especificações do Produto

Nota: Dimensões e estruturas de montagem são produzidas de acordo com o equipamento do cliente, desenho ou amostra existente.

Por que Usar Safira para Tubos Aplicadores de Plasma?

O tubo aplicador está localizado em uma das áreas mais exigentes de um sistema de geração de plasma.

Dependendo do design do equipamento, o tubo pode encontrar simultaneamente gases reativos, espécies de plasma energéticas, energia de micro-ondas e temperaturas elevadas.

Comparada com materiais de vidro convencionais, a safira oferece uma combinação de:

• Resistência a altas temperaturas
• Alta resistência mecânica
• Excelente estabilidade química
• Resistência ao plasma
• Boas propriedades dielétricas
• Transmissão de micro-ondas/RF
• Longa vida útil em ambientes de processo exigentes

Por essa razão, a safira se tornou um importante material de engenharia para tubos aplicadores de plasma e outros componentes de equipamentos de processo de semicondutores.

Fabricação Personalizada de Tubos Aplicadores de Safira

Fabricamos componentes de safira para equipamentos de semicondutores com ênfase em aplicações personalizadas e de substituição.

Em vez de limitar os clientes a dimensões de tubo padrão, podemos fabricar peças de acordo com os requisitos reais do equipamento de processo.

As opções de personalização incluem:

Tubo de Safira

• OD e ID
• Comprimento do tubo
• Espessura da parede
• Extremidades do tubo
• Escalões e ombros
• Fendas e ranhuras
• Rugosidade da superfície
• Requisitos de polimento

Componentes Metálicos

• Dimensões da carcaça
• Especificações de rosca
• Interfaces de montagem
• Flanges
• Luvas
• Estruturas de conector

Montagem

Tubos de safira também podem ser fornecidos com componentes metálicos correspondentes como uma peça montada de equipamento de semicondutor.

Serviço de Substituição e Engenharia Reversa

Para peças de equipamentos de semicondutores descontinuadas, difíceis de obter ou personalizadas, os clientes podem nos enviar:

1. Número da peça do equipamento original
2. Desenho técnico
3. Fotos
4. Amostra usada ou nova
5. Dimensões críticas
6. Modelo do equipamento
7. Informações de aplicação

Nossa equipe de engenharia pode avaliar a estrutura e a viabilidade de fabricação antes da cotação.

Para peças fabricadas como alternativas a componentes de equipamentos existentes, a compatibilidade final deve sempre ser confirmada com base na configuração do equipamento e nas especificações técnicas do cliente.

Controle de Qualidade

Dependendo dos requisitos do cliente, a inspeção pode incluir:

• Inspeção dimensional
• Inspeção de OD / ID
• Medição da espessura da parede
• Inspeção de comprimento
• Inspeção de superfície
• Inspeção de rosca
• Inspeção de montagem
• Inspeção de defeitos visuais
• Inspeção de embalagem

Relatórios de inspeção podem ser fornecidos de acordo com os requisitos do projeto.

Que Informações Devo Enviar para uma Cotação?

Para uma cotação mais rápida, por favor, forneça:

• Desenho do produto
• OD do tubo de safira
• ID do tubo de safira
• Comprimento do tubo
• Espessura da parede
• Acabamento da superfície
• Material da carcaça metálica
• Especificações de rosca
• Marca/modelo do equipamento
• Número da peça OEM, se disponível
• Quantidade necessária
• Ambiente de aplicação ou processo

Se nenhum desenho estiver disponível, envie fotografias claras e uma amostra física para avaliação.

FAQ

Para que é usado um tubo aplicador de safira?

Um tubo aplicador de safira é comumente usado em equipamentos de plasma para semicondutores, particularmente em sistemas de geração de plasma, limpeza de plasma remota e ativação de gás de processo.

Vocês podem fabricar o conjunto completo do tubo aplicador?

Sim. Além dos tubos de safira, carcaças metálicas personalizadas, componentes roscados e conjuntos mecânicos podem ser fabricados de acordo com desenhos ou amostras.

Vocês podem fabricar substituições para peças de equipamentos de semicondutores existentes?

Sim. Suportamos fabricação baseada em desenho e em amostra para componentes de reposição de equipamentos de semicondutores. Os clientes podem fornecer o número de referência OEM, desenho, amostra e informações do equipamento para avaliação.

As dimensões do tubo de safira podem ser personalizadas?

Sim. Diâmetro externo, diâmetro interno, comprimento, espessura da parede, geometria da extremidade do tubo e acabamento da superfície podem ser todos personalizados.

Vocês oferecem pequenas quantidades?

Projetos de protótipo, manutenção e pequenos lotes de equipamentos de semicondutores podem ser avaliados de acordo com as dimensões necessárias e a dificuldade de fabricação.