Bolacha de vidro de borosilicato BOROFLOAT 33 BF33 para semicondutores MEMS e aplicações ópticas

BF33 (BOROFLOAT 33) é um wafer de vidro de borosilicato de alto desempenho fabricado com tecnologia avançada de microfloat. É amplamente utilizado em aplicações de semicondutores, MEMS, ópticas e microfluídicas devido à sua excelente estabilidade térmica, alta transmissão óptica e forte resistência química.

Com um coeficiente de expansão térmica de aproximadamente 3,3 × 10⁻⁶ /K, o BF33 se assemelha ao silício, tornando-o um substrato ideal para ligação de wafer, microfabricação e sistemas ópticos de precisão.

Oferece excelente planicidade, rugosidade superficial ultrabaixa e alta resistência mecânica, tornando-o adequado para salas limpas exigentes e ambientes de engenharia de precisão.

Propriedades dos materiais

Principais recursos

• Baixo coeficiente de expansão térmica compatível com substratos de silício
• Alta transmissão óptica do UV ao infravermelho próximo
• Excelente resistência química a ácidos, álcalis e solventes
• Alta estabilidade térmica até 450°C (uso a longo prazo)
• Resistência de curto prazo até 500°C
• Qualidade de superfície ultra-suave (Ra < 1 nm, DSP disponível)
• Alta resistência mecânica e excelente resistência a riscos
• Baixa autofluorescência para aplicações biomédicas
• Excelente planicidade e baixo TTV para processos de precisão

Aplicativos

Aplicações de semicondutores e MEMS

• Sensores e microdispositivos MEMS
• Substratos de embalagem em nível de wafer
• Processos de ligação anódica de silício
• Chips microfluídicos e sistemas lab-on-chip
• Transportador de wafer e processos de desbaste

Sistemas Ópticos e Fotônicos

• Janelas laser e componentes ópticos
• Lâminas de microscópio e sistemas de imagem
• Filtros ópticos e substratos de precisão
• Conjuntos ópticos de alta estabilidade

Dispositivos Biomédicos e Analíticos

• Biochips e plataformas de diagnóstico
• Sistemas PCR e lab-on-chip
• Sistemas de detecção de baixa autofluorescência
• Dispositivos analíticos microfluídicos

Aplicações industriais e de alta temperatura

• Janelas de observação do forno
• Visores de reatores químicos
• Janelas de proteção do sensor
• Sistemas de monitoramento ambiental

Especificações disponíveis

Vantagens

O wafer de vidro de borosilicato BF33 combina expansão térmica compatível com silício, excelente desempenho óptico, alta durabilidade química e qualidade de superfície compatível com MEMS.

É amplamente utilizado como material de ponte entre processamento de semicondutores, engenharia óptica e fabricação de dispositivos em microescala.

Perguntas frequentes

O que é wafer de vidro de borosilicato BF33?

BF33 é um wafer de vidro de borosilicato de alta pureza produzido pela tecnologia microfloat, apresentando baixa expansão térmica, alta clareza óptica e forte resistência química.

Por que o BF33 é usado em aplicações MEMS?

Sua expansão térmica se aproxima muito do silício, reduzindo o estresse durante a ligação e melhorando a estabilidade em MEMS e processos em nível de wafer.

Os wafers BF33 podem ser polidos?

Sim, os wafers BF33 estão disponíveis nos formatos SSP e DSP. Wafers polidos de dupla face podem atingir rugosidade superficial abaixo de 1 nm.

O BF33 é adequado para aplicações ópticas?

Sim, fornece alta transmissão de comprimentos de onda UV a infravermelho próximo, tornando-o ideal para sistemas ópticos e fotônicos.

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