Barcos de quartzo de design personalizado para processamento de semicondutores

Resumo do produto:

Os nossos barcos de quartzo são projetados com precisão para atender às exigências rígidas das indústrias de semicondutores e de processamento químico.com um diâmetro superior a 50 mm,, substratos ou outros materiais através de processos de alta temperatura, tais como difusão, oxidação e deposição química de vapor (CVD).e baixa expansão térmica tornam-no o material ideal para aplicações de alto desempenho em ambientes de salas limpas.

Oferecemos mais de 50 tipos e variações de barcos de quartzo, incluindo projetos personalizados para atender às necessidades específicas do processo.Os nossos barcos de quartzo são feitos para durabilidade e desempenhoAlém disso, prestamos serviços de reparação, incluindo reparação de incêndio, para prolongar a vida útil dos seus componentes de quartzo.

Especificações do material de quartzo:

Características principais:

• Materiais: Quartzo fundido de alta pureza (SiO2)

• Purificação: 99,99% para contaminação mínima

• Resistência térmica: Resiste a temperaturas extremas de até 1200°C sem deformação ou degradação

• Resistência química: Inerte à maioria dos produtos químicos, garantindo a não contaminação durante processos a altas temperaturas

• Baixa expansão térmica: Garante a estabilidade dimensional durante as rápidas flutuações de temperatura

• Personalização: Disponível em tamanhos padrão ou personalizados (por exemplo, wafers de 4" ou dimensões personalizadas)

• Característica do gancho: Disponível com ganchos numa extremidade para fácil inserção e retirada das placas dos fornos

Aplicações:

1. Fabricação de semicondutores: Detém e transporta wafers de silício durante processos críticos como difusão, oxidação e deposição química de vapor (CVD).

2. Produção de células solares: essencial na fabricação de células fotovoltaicas para o processamento de wafers de silício, incluindo dopagem e oxidação.

3. Investigação e Desenvolvimento: Ideal para laboratórios académicos e industriais onde são necessárias aplicações de alta pureza e alta temperatura.

4. Processamento químico: Adequado para utilização em indústrias de processamento químico onde é necessária uma elevada estabilidade térmica e química.

Variações de projeto:

• Fragmentos com ranhuras: Diferentes tamanhos de ranhuras para acomodar wafers de espessura variável, com configurações de ranhuras personalizadas disponíveis.

• Geometria: Tipo U, tipo V ou outras formas personalizadas para as suas necessidades de processo.

• Projeto do gancho: Equipado com ganchos para facilitar a inserção e a retirada de wafers nos fornos.

• Tamanhos: Tamanhos padrão para wafers de 100 mm, 150 mm, 200 mm e 300 mm. Tamanhos personalizados disponíveis para necessidades especiais.

Vantagens dos barcos de quartzo:

• Estabilidade térmica excepcional: Pode suportar temperaturas superiores a 1000°C, ideal para processos de alta temperatura como difusão e recozimento.

• Ultra-alta pureza: Os baixos níveis de impurezas do quartzo garantem uma contaminação mínima, particularmente crítica para a produção avançada de semicondutores.

• Precisão dimensional: A baixa expansão térmica do quartzo garante que o barco mantenha a sua forma e alinhamento durante as flutuações de temperatura.

• Versatilidade: Compatível com vários processos de semicondutores, incluindo LPCVD, oxidação e recozimento.

• Automatização pronta: Projetado com precisão para integrar-se perfeitamente com sistemas robóticos de manipulação de wafer, minimizando os riscos de manipulação manual.

Quartz Boat FAQ:

P1: Os barcos de quartzo podem ser reutilizados?
Sim, com uma limpeza e manutenção adequadas, os barcos de quartzo podem ser reutilizados várias vezes sem comprometer o desempenho.

P2: Como devem ser limpos os barcos de quartzo?
Os barcos de quartzo devem ser limpos com banhos de ácido ou métodos de limpeza por ultra-som, em conformidade com as normas de salas limpas.

P3: Os barcos de quartzo são compatíveis com todos os tipos de fornos?
Sim, os barcos de quartzo são compatíveis com a maioria dos sistemas de fornos horizontais e verticais utilizados no processamento de semicondutores e fotovoltaicos.

Q4: Que tamanhos estão disponíveis para encomendas personalizadas?
Os barcos de quartzo estão disponíveis em tamanhos padrão para wafers de 100 mm, 150 mm, 200 mm e 300 mm, com personalização adicional disponível para aplicações especializadas.

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