Cassete de Bolacha Única de 1 Polegada para Armazenamento de Bolachas Seguro contra ESD
O cassete de bolacha de 1 polegada é um recipiente especializado projetado para armazenar, transportar e manusear automaticamente bolachas de 1 polegada (25,4 mm) na fabricação de semicondutores, dispositivos optoeletrônicos e P&D em microeletrônica. Fabricado a partir de polímeros de alta pureza (como PEEK ou PVDF) ou materiais antiestáticos, garante a proteção da bolacha contra contaminação, danos eletrostáticos e impacto físico em ambientes de sala limpa. Em conformidade com os padrões SEMI, o cassete é adequado para sistemas automatizados de transferência de bolachas em processos como MOCVD, PECVD, litografia e gravação.
Cassete de Bolacha de 1 PolegadaPrincipais Características
1. Desempenho Ultra-Limpo:
• Cassete de Bolacha de 1 Polegada certificado para sala limpa Classe 100 com geração de partículas ultrabaixa (<5 particlesft³ for>0,1μm)
• Acabamento de superfície liso evita arranhões na bolacha
2. Proteção ESD:
• Fibra de carbono reforçada ou revestimento antiestático com resistividade superficial de 10⁶-10⁹Ω/sq
• Cassete de Bolacha de 1 Polegada impede efetivamente a atração de partículas e danos por descarga eletrostática
3. Confiabilidade Mecânica:
• Resistência a altas temperaturas (até 150°C) e resistência química (contra ácidos, álcalis e solventes orgânicos)
• Design testado contra vibração do Cassete de Bolacha de 1 Polegada em conformidade para transporte seguro
4. Compatibilidade com Automação:
• Interfaces padronizadas do Cassete de Bolacha de 1 Polegada (compatível com SMIF/FOUP) para manuseio robótico
• Compatível com os principais equipamentos de semicondutores (ASML, Applied Materials, etc.)
5. Proteção de Bolacha de Precisão:
• Precisão do passo da ranhura do Cassete de Bolacha de 1 Polegada ±0,1 mm com erro de posicionamento da bolacha ≤0,05 mm
• Ranhuras opcionais para etiquetas RFID para rastreabilidade da bolacha
Cassete de Bolacha de 1 PolegadaAplicações Primárias
①Fabricação de Semicondutores:
• Processamento front-end (litografia, implantação de íons) para bolachas GaN/SiC
• Manuseio de semicondutores tradicionais (Si, GaAs, InP)
• Produção de dispositivos de potência (MOSFET/IGBT) e dispositivos RF (GaN)
②Optoeletrônica:
• Manuseio de bolachas de chips LED/MicroLED e laser (VCSEL/EEL)
• Processamento epitaxial de LED UV/IR/visível
③Aplicações de P&D:
• Cassete de Bolacha de 1 Polegada com experimentos com bolachas pequenas em instituições acadêmicas e de pesquisa
• Pesquisa de novos materiais optoeletrônicos (pontos quânticos, perovskitas)
④Fabricação de MEMS:
• Proteção para bolachas de sensores (acelerômetros, giroscópios, sensores de pressão)
• Fabricação de dispositivos Bio-MEMS e MEMS ópticos
⑤Embalagem Avançada:
• O Cassete de Bolacha de 1 Polegada é armazenamento temporário para embalagem em nível de bolacha (WLP) e integração 3D IC
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A ZMSH oferece cassetes de bolacha única de 1 a 6 polegadas, fornecemos soluções profissionais de armazenamento e transferência de bolachas para fabricação de semicondutores. O de 1 polegada é adequado para P&D de laboratório para materiais GaAs, 2 polegadas para processamento de LED/MEMS, 3 polegadas para dispositivos de potência SiC/GaN, 4 polegadas para semicondutores de silício convencionais e 6 polegadas suporta a produção avançada de IC. Todos os tamanhos atendem aos padrões SEMI para transferência confiável em ambientes de sala limpa.
Perguntas frequentes sobre o Cassete de Bolacha de 1 Polegada
1. P: Para que serve um cassete de bolacha de 1 polegada?
R: É usado principalmente para manusear e armazenar bolachas de semicondutores de 1 polegada em laboratórios de pesquisa e produção em pequena escala de dispositivos optoeletrônicos.
2. P: De que materiais são feitos os cassetes de bolacha de 1 polegada?
R: Eles são tipicamente feitos de polímeros de alta pureza como PEEK ou PVDF com propriedades antiestáticas para compatibilidade com sala limpa.
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