Cassete Única para Wafer de 1 Polegada para Armazenamento de Wafer com Segurança ESD

Cassete de Bolacha Única de 1 Polegada para Armazenamento de Bolachas Seguro contra ESD

O cassete de bolacha de 1 polegada é um recipiente especializado projetado para armazenar, transportar e manusear automaticamente bolachas de 1 polegada (25,4 mm) na fabricação de semicondutores, dispositivos optoeletrônicos e P&D em microeletrônica. Fabricado a partir de polímeros de alta pureza (como PEEK ou PVDF) ou materiais antiestáticos, garante a proteção da bolacha contra contaminação, danos eletrostáticos e impacto físico em ambientes de sala limpa. Em conformidade com os padrões SEMI, o cassete é adequado para sistemas automatizados de transferência de bolachas em processos como MOCVD, PECVD, litografia e gravação.

Cassete de Bolacha de 1 PolegadaPrincipais Características

1. Desempenho Ultra-Limpo:

• Cassete de Bolacha de 1 Polegada certificado para sala limpa Classe 100 com geração de partículas ultrabaixa (<5 particlesft³ for>0,1μm)

• Acabamento de superfície liso evita arranhões na bolacha

2. Proteção ESD:

• Fibra de carbono reforçada ou revestimento antiestático com resistividade superficial de 10⁶-10⁹Ω/sq

• Cassete de Bolacha de 1 Polegada impede efetivamente a atração de partículas e danos por descarga eletrostática

3. Confiabilidade Mecânica:

• Resistência a altas temperaturas (até 150°C) e resistência química (contra ácidos, álcalis e solventes orgânicos)

• Design testado contra vibração do Cassete de Bolacha de 1 Polegada em conformidade para transporte seguro

4. Compatibilidade com Automação:

• Interfaces padronizadas do Cassete de Bolacha de 1 Polegada (compatível com SMIF/FOUP) para manuseio robótico

• Compatível com os principais equipamentos de semicondutores (ASML, Applied Materials, etc.)

5. Proteção de Bolacha de Precisão:

• Precisão do passo da ranhura do Cassete de Bolacha de 1 Polegada ±0,1 mm com erro de posicionamento da bolacha ≤0,05 mm

• Ranhuras opcionais para etiquetas RFID para rastreabilidade da bolacha