Máquina de Corte de Fio de Diamante de Fio Único de Três Estações para Processamento de SiC/Safira/Silício
A Máquina de Corte de Fio de Diamante de Fio Único de Três Estações é um sistema de usinagem de precisão totalmente automatizado, projetado especificamente para processar materiais duros e frágeis altamente complexos. Apresentando um design modular, integra três estações de trabalho independentes para corte grosseiro, acabamento de precisão e polimento. Equipada com uma estrutura de pórtico de alta rigidez e sistema de acionamento de motor linear de grau nano (precisão de posicionamento repetido ±0,5μm), a máquina utiliza um único fio de diamante (diâmetro 0,1-0,3 mm) para completar sequencialmente a usinagem multi-processo, permitindo a fabricação de precisão one-stop do produto em branco ao produto acabado. É particularmente adequado para cenários de processo de ponta que exigem corte em formato especial, processamento de wafers ultrafinos e baixo dano superficial, apoiando de forma abrangente as necessidades de usinagem de precisão para materiais semicondutores e optoeletrônicos, incluindo silício, carboneto de silício (SiC), safira e quartzo.
Especificações Técnicas da Máquina de Corte de Fio de Diamante de Fio Único de Três Estações
| Modelo |
Máquina de corte de linha única de diamante de três estações |
| Tamanho máximo da peça |
600*600mm |
| Velocidade de funcionamento do fio |
1000 (MIX) m/min |
| Diâmetro do fio de diamante |
0,25-0,48mm |
| Capacidade de armazenamento de linha da roda de fornecimento |
20km |
| Faixa de espessura de corte |
0-600mm |
| Precisão de corte |
0,01mm |
| Curso de elevação vertical da estação de trabalho |
800mm |
| Método de corte |
O material é estacionário e o fio de diamante oscila e desce |
| Velocidade de avanço de corte |
0,01-10mm/min (De acordo com o material e espessura) |
| Tanque de água |
150L |
| Fluido de corte |
Fluido de corte de alta eficiência anti-ferrugem |
| Ângulo de oscilação |
±10° |
| Velocidade de oscilação |
25°/s |
| Tensão máxima de corte |
88.0N (Definir unidade mínima 0.1n) |
| Profundidade de corte |
200~600mm |
| Faça as placas de conexão correspondentes de acordo com a faixa de corte do cliente |
- |
| Estação de trabalho |
3 |
| Fonte de alimentação |
Trifásico cinco fios AC380V/50Hz |
| Potência total da máquina-ferramenta |
≤32kw |
| Motor principal |
1*2kw |
| Motor de fiação |
1*2kw |
| Motor de oscilação da bancada |
0,4*6kw |
| Motor de controle de tensão |
4,4*2kw |
| Motor de liberação e coleta de fio |
5,5*2kw |
| Dimensões externas (excluindo a caixa do braço oscilante) |
4859*2190*2184mm |
| Dimensões externas (incluindo a caixa do braço oscilante) |
4859*2190*2184mm |
| Peso da máquina |
3600ka |
Princípio de Funcionamento da Máquina de Corte de Fio de Diamante de Fio Único de Três Estações
1. Operação Colaborativa de Três Estações:
- Estação A (Corte Grosseiro): Corte em alta velocidade (1-2m/s) para modelagem rápida, deixando uma folga de 0,05 mm.
- Estação B (Acabamento de Precisão): Acabamento de precisão em baixa velocidade (0,5 m/s) com precisão de até ±0,01 mm.
- Estação C (Polimento): O polimento químico-mecânico (CMP) ou tratamento a laser atinge uma rugosidade superficial Ra<0,2μm.
2. Sistema de Controle Inteligente:
- A sincronização baseada em PLC garante transições de processo contínuas.
- O posicionamento por visão de máquina (precisão de 5μm) calibra automaticamente os caminhos de corte.
Recursos e Materiais Compatíveis da Máquina de Corte de Fio de Diamante de Fio Único de Três Estações
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Recurso
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Descrição
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Características do Material
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Integração de Três Processos
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Reduz o manuseio da peça, diminuindo a taxa de contaminação em 90%
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Silício (wafers ultrafinos <50μm), SiC (alta dureza)
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Corte de Formato Especial de Alta Precisão
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Suporta formas complexas (arcos/chanfros) com precisão de perfil ±0,02 mm
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Safira (grau óptico), quartzo (baixa expansão térmica)
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Controle de Tensão Adaptável
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Ajuste de tensão do fio em tempo real (20-50N) evita a quebra
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Cerâmica (AlN/Al₂O₃), substratos compostos
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Compatibilidade Multi-Material
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Troca rápida de parâmetros para diferentes materiais
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Cristais especiais (LiNbO₃), diamante CVD
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Máquina de Corte de Fio de Diamante de Fio Único de Três EstaçõesVantagens Técnicas
- Eficiência: O processamento contínuo de três estações reduz o tempo do ciclo em 40%.
- Qualidade: A estação de polimento atinge uma camada de dano superficial <10nm, melhorando o desempenho do dispositivo em 20%.
- Flexibilidade: A operação independente da estação se adapta às necessidades de P&D e pequenos lotes.
- Inteligência: Rastreamento de dados IoT com monitoramento em tempo real da força de corte e temperatura.
Máquina de Corte de Fio de Diamante de Fio Único de Três Estaçõesprincipais áreas de aplicação
1. Fabricação de Dispositivos de Potência Semicondutores:
- Processamento de Trincheiras SiC MOSFET: A colaboração de três estações primeiro corta grosseiramente os perfis das trincheiras, depois acaba com precisão as paredes laterais (tolerância angular ±0,1°) e, finalmente, polir para obter uma rugosidade superficial da trincheira Ra<10nm, melhorando significativamente o desempenho de comutação.
- Corte de Wafers IGBT Ultra-Finos: Para wafers de silício <50μm de espessura, a tecnologia de corte composto "descendente + oscilante" controla a lasca para 99,8% de rendimento.
2. Componentes Ópticos de Eletrônicos de Consumo:
- Processamento de Capas de Safira Curvas 3D: Corta grosseiramente os contornos básicos, acaba com precisão as superfícies curvas (raio R0,5mm±0,01mm) e polir para obter >93% de transmitância para módulos de câmera de smartphones e telas de smartwatches.
- Fabricação de Matriz de Micro-Prismas: Processa estruturas de prisma em nível de mícron (profundidade de 50-200μm) em vidro de quartzo, garantindo um erro de passo da matriz <1μm.
3. Pesquisa Avançada e Engenharia Especial:
- Processamento de Material de Janela de Dispositivo de Fusão: Corte em formato especial de diamante CVD (espessura de 0,3-1 mm) evita a grafitização, mantendo a condutividade térmica >2000W/m·K.
- Componentes de Proteção Térmica Cerâmica Aeroespacial: Corte de microcanais (largura de 0,1 mm/profundidade de 1 mm) em substratos AlN atinge uma rugosidade da parede do canal Ra<0,1μm, reduzindo a resistência ao fluido.
Perguntas Frequentes sobre a Máquina de Corte de Fio de Diamante de Fio Único de Três Estações
1. P: Quais são os benefícios do corte de fio de diamante de 3 estações?
R: Ele combina corte grosseiro, acabamento de precisão e polimento em um sistema, reduzindo o tempo de processamento em 40% e melhorando a qualidade da superfície (Ra<0,2μm).
2. P: Quais materiais podem ser processados com esta máquina?
R: Materiais duros/frágeis como SiC, safira, silício, quartzo e cerâmica com precisão de ±0,01 mm.
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