Detalhes do produto:
Condições de Pagamento e Envio:
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Tamanho: | 2inch 3inch 4inch 6inch 8inch 12inch | LTV: | < 0,5 μm |
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TTV: | < 2μm/3μm/5μm | Tipo de superfície: | ssp/dsp |
A rugosidade da superfície: | ≤ 1 nm | Aplicações: | Máscaras de Litografia de Semicondutores, Dispositivos Óticos UV |
Destacar: | Bolachas de quartzo de 12 polegadas,Bolachas de quartzo de 6 polegadas,Bolachas de quartzo de 4 polegadas |
As placas de quartzo são substratos de precisão feitos de materiais sintéticos de quartzo de alta pureza, amplamente utilizados em semicondutores, optoeletrônica, óptica e sistemas microeletromecânicos (MEMS). A ZMSH é especializada em P&D e produção de materiais semicondutores de quartzo, oferecendo produtos como wafers de quartzo, janelas ópticas de quartzo, tubos de quartzo e barcos de quartzo,com wafers de quartzo como nossa linha de produtos principal. Fornecemos soluções personalizáveis para wafers de 2 a 12 polegadas, atendendo a requisitos específicos em dimensões, espessura e tratamentos de superfície (polido, revestimento, etc.).
A ZMSH oferece disponibilidade em estoque e serviços de usinagem personalizados, garantindo alta precisão (por exemplo, TTV ≤5μm), planitud superior (Ra ≤1nm),e excelente resistência a altas temperaturas (ponto de amolecimento até 1730°C). Nossos produtos são amplamente aplicados na fabricação de semicondutores, tecnologia de fotomasca, sensores e sistemas a laser.
Tamanho | Por centímetro | 2 polegadas. | 3 polegadas | 4 polegadas | 6 polegadas. | 8 polegadas | 12 polegadas. |
Diâmetro |
mm | 50.8 | 76.2 | 100 | 150 | 200 | 300 |
Tolerância (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
Espessura | μm | 100 e acima | 100 e acima | 100 e acima | 300 e acima | 400 e acima | 500 e mais |
Plano de referência primário | mm | 32.5 | 32.5 | 32.5 | 57.5 | De peso superior a 20 g/m2 | De peso superior a 20 g/m2 |
LTV (5mmx5mm) | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
TTV | μm | < 2 | < 2 | < 2 | < 3 | (3) | < 5 |
Incline-se. | μm | ± 20 | ± 20 | ± 20 | ± 30 | ± 40 | ± 40 |
Warp. | μm | ≤ 30 | ≤ 30 | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 |
PLTV ((5mm*5mm) < 0,4um | % | ≥ 95% | ≥ 95% | ≥ 95% | ≥ 95% | ≥ 95% | ≥ 95% |
Arredondamento da borda | mm | Semi STD. | Semi STD. | Semi STD. | Semi STD. | Semi STD. | Semi STD. |
Tipo de superfície | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | |
Superfície rugosa | nm | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 |
As principais propriedades das placas de quartzo incluem:
1Material de alta pureza: Quartzo sintético (por exemplo, Suprasil ou Corning 7980) com pureza de SiO2 ≥ 99,99%, minimizando as impurezas nos processos de semicondutores.
2Estabilidade térmica: Baixo coeficiente de expansão térmica (5,5×10−7/°C), resistente a temperaturas superiores a 1000°C em ambientes extremos.
3Performance óptica: Alta transmissão de comprimentos de onda UV para IR (por exemplo, > 90% em UV profundos), ideal para litografia e aplicações a laser.
4Precisão da superfície: Polir de ultra-precisão com rugosidade de superfície (Ra) ≤ 0,5 nm e variação de espessura total (TTV) ≤ 5 μm.
5. Faixa de tamanho: Tamanhos normalizados de2 polegadas, 4 polegadas, 6 polegadas, 8 polegadas a 12 polegadas, com suporte a especificações personalizadas.
6Inercia química: Resistente a ácidos fortes (exceto HF), álcalis e gravuras plasmáticas, adequado para processos de semicondutores.
As placas de quartzo desempenham um papel fundamental nos setores de tecnologia avançada, conforme detalhado abaixo:
Área de aplicação | Utilizações específicas | Vantagens das placas de quartzo |
Fabricação de semicondutores | - Substratos para máscaras fotográficas - Portadores de processo de gravação - Pads de polimento CMP - Wafers temporários de ligação |
Alta planície, baixa expansão térmica, resistência à corrosão por plasma |
Dispositivos optoeletrônicos | - Janela de laser. - Substratos de filtros ópticos - Substratos de sensores IR - Embalagem do fotodetector |
Alta transmissão UV-IR, baixa perda de absorção |
MEMS/NEMS | - camadas estruturais MEMS - Diafragmas de sensores de precisão - Modelos de nanoimpressões |
Superfície ultra suave, elevada rigidez, estabilidade química |
Dispositivos 5G e RF | - Substratos de filtros SAW/BAW - Bases de antenas de alta frequência - Resonadores dielétricos de microondas |
Baixa perda dielétrica, desempenho estável do sinal de alta frequência |
Investigação e Óptica | - Óptica de radiação sincrotron - Janela de difração de raios-X - Espelhos a laser de alta potência |
Resistência à radiação, limiar elevado de danos por laser |
Nova Energia | - Substratos de revestimento de células fotovoltaicas - Camadas de eletrólitos das células de combustível - Investigação em separadores de baterias de lítio |
Resistência a altas temperaturas, prevenção da migração de íons |
Soluções abrangentes de wafer de quartzo: a ZMSH fornece produção personalizada de wafer de quartzo (2 "-12" tamanhos padrão / não padrão) com processamento de precisão (polido, revestimento, etc.) utilizando materiais de alta pureza (sílica fundida de grau UV), quartzo de baixo OH). Os nossos serviços incluem wafers de 4"/6"/8" em stock, produtos auxiliares (janela óptica, tubos de quartzo), certificação completa de testes e suporte técnico para seleção de materiais e otimização de processos.
1Q: Que tamanhos de wafers de quartzo estão disponíveis para aplicações de semicondutores?
R: Fornecemos wafers de quartzo padrão de 2 a 12 polegadas com tamanhos e especificações personalizados disponíveis mediante solicitação.
2Q: Quais são as principais vantagens da utilização de wafers de quartzo na fabricação de semicondutores?
R: As placas de quartzo oferecem excepcional estabilidade térmica, alta pureza e excelente resistência química, tornando-as ideais para processos de semicondutores exigentes.
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