Bolacha de Quartzo de 8 polegadas Diâmetro 200mm TTV ≤10μm Ra ≤1,0 nm Para Sensores de Alta Precisão
A bolacha de quartzo de 8 polegadas é um material de substrato de precisão fabricado a partir de vidro de quartzo sintético de alta pureza (SiO₂), oferecendo propriedades físicas, químicas e ópticas excepcionais. Com um diâmetro padrão de 200 mm (8 polegadas) e espessura personalizável (por exemplo, 0,5 mm–10 mm), é amplamente utilizado em aplicações de semicondutores, optoeletrônicas e ópticas de alta qualidade. Devido à sua pureza ultra-alta (≥99,99%), baixo coeficiente de expansão térmica, excelente estabilidade térmica e transmitância UV-IV superior, as bolachas de quartzo são uma escolha ideal para processos críticos como fotolitografia, gravação e deposição de filmes finos. Além disso, suas propriedades dielétricas estáveis e resistência à radiação as tornam adequadas para sensores de alta precisão e componentes de nível aeroespacial.
Dados para bolacha de quartzo de 8 polegadas
| Parâmetros |
Valores/Especificações |
| Diâmetro |
200 mm (8 polegadas) |
| Faixa de Espessura |
100 μm – 3000 μm |
| Variação Total de Espessura (TTV) |
≤10 μm |
| Rugosidade da Superfície (Ra) |
≤1,0 nm |
| Conteúdo Total de Impurezas |
≤2,0 μg/g (Grau de Alta Pureza) |
| Coeficiente de Expansão Térmica |
0,55×10⁻⁶/K (20–300°C) |
| Resistência à Temperatura |
Ponto de amolecimento 1683°C, Tolerância de curto prazo até 1450°C |
| Transmitância UV |
>90% de Transmitância Média (200–260 nm) |
| Semicondutores |
Máscaras de Litografia de Semicondutores, Dispositivos Ópticos UV, Sensores MEMS, Sistemas Laser |
Principais características e vantagens da bolacha de quartzo de 8 polegadas2. P: Por que usar bolachas de quartzo em vez de bolachas de silício?
Alta Pureza (≥99,99%): Minimiza as impurezas nos processos de semicondutores, melhorando o rendimento.2.
Excelente Estabilidade Térmica: Ponto de amolecimento até 1730°C, adequado para processos de alta temperatura (por exemplo, difusão, oxidação).3.
Baixa Expansão Térmica (5,5×10⁻⁷/°C): Reduz a deformação sob tensão térmica, aprimorando a precisão da usinagem.4.
Alta Transmitância (185nm–2,5μm): Ideal para litografia UV, sensores ópticos e aplicações a laser.5.
Resistência Química: Resiste a ácidos fortes (exceto HF) e álcalis, adequado para ambientes de gravação úmida.6.
Alta Planicidade (<1μm TTV): Garante uniformidade na fotolitografia e deposição de filmes finos.Campos de aplicação
da bolacha de quartzo de 8 polegadasR: A espessura padrão varia de 0,5 mm a 1,0 mm, com opções personalizadas de até 10 mm para aplicações específicas de semicondutores.2. P: Por que usar bolachas de quartzo em vez de bolachas de silício?
| Principais Benefícios |
Semicondutores |
Substratos de fotomáscara, suportes de gravação, almofadas de polimento CMP, bandejas de processo de difusão |
| Estabilidade em alta temperatura, defeitos ultrabaixos, garante a precisão da fabricação de chips |
Fotovoltaica |
Processos PECVD para células solares, suportes de forno de difusão, substratos de deposição de filmes finos |
| Resistência ao choque térmico, aumenta a eficiência da célula |
Optoeletrônica |
Substratos LED/LD, janelas a laser, proteção de sensores ópticos |
| Alta transmitância UV-IV, baixa fluorescência, melhora o desempenho do dispositivo |
Óptica de Precisão |
Substratos de lentes, prismas, divisores de feixe, janelas IV |
| Baixa expansão térmica, alta homogeneidade, garante a estabilidade do sistema óptico |
Pesquisa e Laboratório |
Dispositivos de radiação de síncrotron, experimentos VUV, detectores de física de alta energia |
| Resistente à radiação, suporta ambientes extremos |
Aeroespacial |
Janelas ópticas de satélites, janelas de observação de alta temperatura para espaçonaves |
| Resistência a raios cósmicos, resistência ao choque térmico, pronto para o espaço |
Personalizado |
8 |
bolacha de quartzo de polegadas SoluçõesA ZMSH é especializada em P&D, produção e vendas de produtos de vidro de quartzo de alta precisão, oferecendo:· Vários Tamanhos: Bolachas de 2"–12", com personalizações não padronizadas (por exemplo, quadradas, formatos especiais).
· Formatos Diversos: Redondo, quadrado, anular, em forma de setor, etc., adaptados às necessidades do equipamento.
· Opções de Material: Quartzo sintético (JGS1/JGS2/JGS3), sílica fundida, quartzo de baixo OH.
· Tratamentos de Superfície: Polimento, revestimentos (AR/IV/DLC), perfuração, ranhuras, etc.
· Soluções Específicas da Indústria: Componentes de quartzo personalizados para semicondutores, fotovoltaica, comunicações ópticas, etc.
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Breve introdução de janelas de vidro de quartzo:
A ZMSH fornece janelas de vidro de quartzo personalizadas com precisão para sistemas ópticos UV-Vis-IV. Os recursos personalizáveis incluem:
· Formatos: Redondo, quadrado, retangular ou geometrias complexas.
· Dimensões: Diâmetro 1mm–500mm, espessura 0,1mm–50mm.
· Acabamentos de Superfície: Polimento de dupla face, revestimentos AR, revestimentos metálicos.
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Equipado com tecnologias avançadas de gravação CNC, corte a laser e revestimento, a ZMSH garante alta transmitância, baixa distorção de frente de onda e durabilidade ambiental.
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Perguntas frequentes
da bolacha de quartzo de 8 polegadas
1. P: Qual é a espessura padrão de uma bolacha de quartzo de 8 polegadas?R: A espessura padrão varia de 0,5 mm a 1,0 mm, com opções personalizadas de até 10 mm para aplicações específicas de semicondutores.2. P: Por que usar bolachas de quartzo em vez de bolachas de silício?
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