Detalhes do produto:
Condições de Pagamento e Envio:
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Diâmetro: | 6 polegadas | Tolerância de espessura: | ± 0,02 mm |
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Variação da espessura total: | ≤10μm | A rugosidade da superfície: | ≤ 0,5 nm Ra |
Paralelo: | ≤3μm | Resistividade: | > 1016 Ω·cm |
Destacar: | Substrato de Cristal de Quartzo Transparente Resistente ao Calor,Substrato de Cristal de Quartzo Monocristalino |
A pastilha de quartzo de 6 polegadas (diâmetro de 150 mm) é fabricada a partir de vidro de quartzo de alta pureza (pureza ≥99,999%) com espessura variando de 50 a 500μm. A rugosidade da superfície é controlada para Ra ≤0,5nm através de CMP (Polimento Mecânico-Químico). O processo de fabricação inclui:
· Purificação da Matéria-Prima: Extração de silício de grau eletrônico da areia de quartzo por meio de processos de cloração e redução, atingindo 99,9999% de pureza.
· Crescimento de Cristal Único: Cultivo de varetas de silício monocristalino usando o método Czochralski (CZ), com densidade de defeitos <1 defeito/cm².
· Corte e Processamento: Corte de varetas de silício em pastilhas de 150 mm por meio de serragem de fio múltiplo, seguido de polimento de dupla face e gravação a laser para garantir tolerância de espessura ≤±15μm.
Parâmetro | Especificação |
Diâmetro | 6 polegadas (150 mm) |
Faixa de Espessura | 0,5 mm~3,0 mm |
Tolerância de Espessura | ±0,02 mm |
Variação Total de Espessura | ≤10μm |
Rugosidade da Superfície (Polida) | ≤0,5nm Ra |
Paralelismo | ≤3μm |
CTE (20-300°C) | 0,55×10⁻⁶/°C |
Transmitância @193nm | >92% |
Resistividade | >10¹⁶ Ω·cm |
Compatibilidade a Vácuo | 10⁻⁰ Torr |
Resistência à Flexão (Reforçada) | 500-700MPa |
A pastilha de quartzo de 6 polegadas é um filme fino circular feito de material de quartzo de alta pureza, amplamente utilizado na fabricação de semicondutores, optoeletrônica e ótica de precisão. As principais características incluem:
· Alta Pureza e Resistência Térmica: Pureza do vidro de quartzo ≥99,999%, ponto de amolecimento ~1730°C, tolerância de curto prazo de até 1450°C.
· Baixa Expansão Térmica: Coeficiente de expansão térmica 0,5×10⁻⁶/°C (25-300°C), capaz de suportar choque térmico (ΔT ≥800°C).
· Estabilidade Química: Resiste à corrosão de todos os ácidos, exceto ácido fluorídrico, com resistência à corrosão 30× maior que a cerâmica e 150× maior que o aço inoxidável.
· Desempenho Óptico: Alta transmitância no espectro ultravioleta a infravermelho próximo (luz visível >93%, infravermelho próximo >95%).
· Resistência Mecânica: Dureza Mohs de 7, resistência à compressão superior ao vidro padrão.
1. Fabricação de Semicondutores: Usado em diodos, transistores e MOSFETs, suportando eletrônicos automotivos e semicondutores de potência.
2. Optoeletrônica: Serve como substratos para fibras ópticas, dispositivos a laser e guias de onda em redes 5G e data centers.
3. Ótica de Precisão: Aplicado em sistemas de imagem infravermelha, ótica a laser e lentes de alta transmitância.
4. Sensores e Instrumentos: Componentes principais em sensores MEMS e equipamentos de diagnóstico médico.
5. Aeroespacial: Janelas ópticas de alta temperatura e componentes resistentes ao calor para espaçonaves.
Os tubos de quartzo são vidro de quartzo de alta pureza fabricados em estruturas tubulares, amplamente utilizados em processos de difusão/oxidação de semicondutores e equipamentos fotovoltaicos. Nossos serviços incluem:
· Processamento Personalizado: Diâmetros internos (5-50 mm), comprimentos (100-1000 mm) e espessuras de parede (0,5-3 mm). Geometrias complexas (tubos dobrados, multicâmaras) são suportadas.
· Vantagens Técnicas: Opera a 1100°C a longo prazo, baixo teor de hidroxila (<1ppm) e alta resistência à contaminação, atendendo aos requisitos de limpeza de grau de semicondutor.
1. P: Quais são as principais aplicações das pastilhas de quartzo de 6 polegadas?
R: As pastilhas de quartzo de 6 polegadas são amplamente utilizadas na fabricação de semicondutores (por exemplo, diodos, MOSFETs), optoeletrônica (fibra óptica, lasers) e sensores de precisão devido à sua alta estabilidade térmica e transparência óptica.
2. P: Quais desafios existem na produção de pastilhas de quartzo de 6 polegadas?
R: Os principais desafios incluem manter a pureza ultra-alta (>99,999% SiO₂), minimizar defeitos durante o crescimento do cristal e garantir a uniformidade nos processos de corte/polimento.
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