Pastilha de Quartzo de 4 Polegadas Diâmetro 100mm Pastilha de Sílica Fundida para Fabricação de Semicondutores
A pastilha de quartzo de 4 polegadas (100mm) é um substrato de sílica fundida de alta pureza e formato grande, projetado para aplicações de alta precisão e alta estabilidade em semicondutores, optoeletrônica e ótica avançada. Em comparação com as pastilhas de 3 polegadas, a especificação de 4 polegadas oferece uma área utilizável significativamente maior, melhorando a eficiência da produção—particularmente para a fabricação em lote de fotomáscaras de CI, ótica de laser de alta potência e sensores MEMS.
ZMSH é especializada em P&D e produção de pastilhas de quartzo de 4 polegadas e maiores, oferecendo:
- Personalização de tamanho completo: Suporta pastilhas de 4 polegadas, 6 polegadas e 8 polegadas, com tamanhos não padronizados (por exemplo, quadrados, em forma de setor) disponíveis.
- Processamento de alta precisão: Inclui polimento ultra-duplo (Ra≤0,5nm), corte a laser (±0,01mm de tolerância) e perfuração de microfuros/vias de formato especial.
- Tratamentos funcionais: Revestimentos antirreflexo (AR), antirreflexo IR, revestimentos de carbono tipo diamante (DLC) e muito mais.
- Soluções de nível industrial: Limpeza de nível de semicondutor (Classe 10), baixa densidade de defeitos (≤0,1/cm²), ideal para litografia EUV e computação quântica.
Especificação para pastilha de quartzo de 4 polegadas
| Termo Técnico |
Especificação |
| Diâmetro |
4 polegadas (100mm) |
| Faixa de Espessura |
0,5mm~1,5mm |
| Rugosidade da Superfície (Polida) |
≤0,5nm |
| Transmitância @193nm |
>93% |
| CTE (20-300°C) |
0,55×10⁻⁶/°C |
| Paralelismo |
≤3μm |
| Compatibilidade com Vácuo |
10⁻¹⁰ Torr |
Características Principais da pastilha de quartzo de 4 polegadas
1. Precisão de tamanho grande: TTV≤10μm a 100mm de diâmetro garante a uniformidade do processo.
2. CTE ultra-baixo: 0,55×10⁻⁶/°C, adequado para processos de alta temperatura (por exemplo, recozimento, implantação iônica).
3. Transparência de banda larga: >93% de transmitância @193nm (DUV), >90% @3-5μm (IR).
4. Qualidade de superfície superior: Polido em ambos os lados com Ra≤0,5nm para litografia em nanoescala.
5. Durabilidade aprimorada: O fortalecimento químico opcional aumenta a resistência à flexão para 600MPa; resistente a plasma.
Aplicações Estratégicas da pastilha de quartzo de 4 polegadas
| Campo |
Aplicações |
| Semicondutor |
Ótica de litografia EUV, substratos de fotomáscara, interposers 3D NAND |
| Lasers de alta potência |
Espelhos a laser, grades de compressão de pulso, extremidades de fibra laser |
| Tecnologia Quântica |
Portadores de chip qubit, janelas de armadilha de átomo frio, substratos de detector de fóton único |
| Aeroespacial |
Lentes de satélite, janelas de sensor resistentes à radiação, detectores de partículas |
| Biomédico |
Chips de sequenciamento de DNA, ótica de endoscópio, moldes de dispositivos microfluídicos |
Serviços de Personalização
ZMSH fornece personalização completa para pastilhas de quartzo de 4 polegadas, incluindo:
- Seleção de material: Sílica fundida JGS1/JGS2 de grau UV ou IR.
- Usinagem de precisão: Polimento em nanoescala (λ/20), microestruturação a laser (±1μm de precisão).
- Revestimentos funcionais: AR (193-1064nm), revestimentos a laser de alta LIDT (>5J/cm²).
- Suporte de QA: Relatórios de inspeção completos (AOI, interferometria).
Perguntas frequentes
Por favor verifique seu email!
