3 polegadas / 4 polegadas / 6 polegadas / 8 polegadas Litio Niobato Filme fino LNOI Wafers com perda óptica < 0,05 DB / cm

Wafers LNOI de película fina de niobato de lítio de 3 polegadas e 4 polegadas e 6 polegadas e 8 polegadas com perda óptica < 0,05 dB/cm

As placas LNOI (Lithium Niobate on Insulator) representam um substrato fotônico integrado de alto desempenho fabricado através de tecnologias avançadas de ligação de placas (por exemplo, Smart CutTM ou ligação direta),a integração de filmes finos de LiNbO3 de cristal único (100nm-1μm de espessura) em substratos isolantes (tais como SiO2/Si ou safira). ZMSH fornece 4 polegadas, 6 polegadas, e tamanho personalizado LNOI wafers suportando múltiplas orientações de cristal (X-corte, Y-corte, Z-corte), com doping de filme personalizável (por exemplo,Dopagem de MgO para aumentar o limiar de danos ópticos) e espessura da camada de óxido enterrada (100nm-2μm)As opções de substrato incluem silício, quartzo ou carburo de silício para atender às diversas necessidades de integração optoeletrônica.incluindo a otimização do filme, gravação de guias de onda e serviços de ensaios a nível de dispositivos, permitindo aplicações de ponta em comunicações ópticas de alta velocidade e computação quântica.

Especificação do niobato de lítio cortado em X em wafers de isolante (LNOI)

Principais características doOrifícios LNOI

(1) Perda óptica ultra-baixa: Perda de propagação do guia de ondas < 0,05 dB/cm (banda de 1550 nm), 10 vezes menor do que os dispositivos convencionais de LiNbO3.

(2) Forte efeito eletro-óptico: Coeficiente eletro-óptico eficaz (r33) até 90 pm/V (aumento de 3x através do confinamento do campo óptico), permitindo modulação de tensão ultra-baixa (Vπ~1V).

(3) Alta densidade de integração: Suporta guias de onda submicrônicos (largura < 1μm), reduzindo a pegada do dispositivo em 100x em comparação com o LiNbO3 a granel.

(4) Compatibilidade CMOS: Permite a integração heterogênea com plataformas de fotônica de silício (SiPh) e nitruro de silício (SiN) para chips fotônicos multifuncionais.

(5) Estabilidade térmica: temperatura de Curie até 1140°C, adequada para processos de embalagem a altas temperaturas.

Aplicações primárias deOrifícios LNOI

1Comunicações ópticas de alta velocidade: O forte efeito eletro-óptico do LNOI o torna ideal para módulos ópticos coerentes de 200Gbps+ como os moduladores LiNbO3 de película fina (largura de banda > 100GHz).

2Óptica quântica: Características de baixa perda suportam geração de pares de fótons emaranhados e manipulação de estado quântico para redes de computação quântica escaláveis.

3. Fotônica de microondas: Combinado com efeitos piezoelétricos, permite matrizes ópticas em fase e filtros fotónicos de microondas (que abrangem as faixas de 5G/6G mmWave).

4Óptica não linear: elevado coeficiente não linear (χ(2)) adequado para pincéis de frequência e dispositivos de amplificação paramétrica.

5Aplicações de detecção: Utilizado em sensores bioquímicos de alta sensibilidade (por exemplo, ressonadores de micro-anel LNOI à base de silício).

Serviços da ZMSH

Como fornecedora líder de substratos fotónicos integrados, a ZMSH fornece serviços técnicos de espectro completo que abrangem toda a cadeia de valor da LNOI, incluindo o design de filme fino personalizado (por exemplo,LiNbO3 dopado por gradiente, desenvolvimento de processos de ligação a nível de wafer (suportando SiO2, AlN e outras camadas isolantes), nanofabricação (EBL e IBE) e verificação de desempenho a nível de dispositivo (por exemplo,Teste de resposta eletro-óptica e caracterização THz). A ZMSH conseguiu produzir em pequenos lotes wafers LNOI de 6 polegadas com > 90% de rendimento,A empresa está a colaborar com instituições de investigação globais no desenvolvimento de tecnologias de integração heterogénea e de LNOI de 8 polegadas (eA investigação e o desenvolvimento futuros concentram-se na redução das perdas de inserção (alvo < 0,5%).02 dB/cm) e melhorar a eficiência da modulação (optimização r33 para 120 pm/V) para atender às demandas de comunicações ópticas 800G e internet quântica.