Carregador de barco de cerâmica SiC personalizado para manuseio de wafer

Suporte de Barco de Cerâmica SiC Personalizado para Manuseio de Wafer

 
O Suporte de Barco de Cerâmica de Carbeto de Silício (SiC) Personalizado é uma solução de alto desempenho para manuseio de wafers, projetada para os processos de fabricação de semicondutores, fotovoltaicos e LED. Projetado para alta estabilidade térmica, resistência química e contaminação ultrabaixa, este suporte garante o transporte seguro e eficiente de wafers em ambientes exigentes, como CVD, fornos de difusão e câmaras de oxidação.
 

Principais Vantagens do Barco de Cerâmica SiC

 
Alta Estabilidade Térmica – Suporta temperaturas de até 1.600°C sem deformação.
Inércia Química – Resiste a ácidos, álcalis e erosão por plasma, garantindo durabilidade a longo prazo.
Baixa Geração de Partículas – Minimiza a contaminação em fabricação de ponta EUV e avançada.
Design Personalizável – Adaptado para tamanho de wafer, espaçamento de ranhuras e requisitos de manuseio
Ideal para fábricas de semicondutores, produção de MEMS e processamento de semicondutores compostos
 
 

Especificação

Aplicações do Barco de Cerâmica SiC

 
1. Fabricação de Semicondutores
✔ Fornos de Difusão e Recozimento
- Alta Estabilidade Térmica – Suporta 1.600°C (oxidante) / 1.950°C (inerte) sem deformação.
- Baixa Expansão Térmica (4.3×10⁻⁶/K) – Evita empenamento do wafer em processamento térmico rápido (RTP).
✔ CVD e Epitaxia (Crescimento de SiC/GaN)
- Resistência à Corrosão por Gás – Inerte a SiH₄, NH₃, HCl e outros precursores agressivos.
- Superfície Livre de Partículas – Polida (Ra <0.2µm) para deposição epitaxial sem defeitos.
✔ Implantação Iônica
- Endurecido por Radiação – Sem degradação sob bombardeio iônico de alta energia.
 
 
2. Eletrônica de Potência (Dispositivos SiC/GaN)
✔ Processamento de Wafer SiC
- Compatibilidade CTE (4.3×10⁻⁶/K) – Minimiza o estresse em crescimento epitaxial a 1.500°C+.
- Alta Condutividade Térmica (160 W/m·K) – Garante aquecimento uniforme do wafer.
✔ Dispositivos GaN-on-SiC
- Não Contaminante – Sem liberação de íons metálicos vs. barcos de grafite.
 
 
3. Produção Fotovoltaica (Célula Solar)
✔ Células Solares PERC e TOPCon
- Resistência à Difusão de POCl₃ – Resiste a ambientes de dopagem de fósforo.
- Longa Vida Útil – 5-10 anos vs. 1-2 anos para barcos de quartzo.
✔ Solar de Filme Fino (CIGS/CdTe)
- Resistência à Corrosão – Estável em processos de deposição de H₂Se, CdS.
 
 
4. LED e Optoeletrônica
✔ Epitaxia Mini/Micro-LED
- Design de Ranhura de Precisão – Suporta wafers frágeis de 2"–6" sem lascar as bordas.
- Compatível com Sala Limpa – Atende aos padrões de partículas SEMI F57.
 
 
5. Pesquisa e Aplicações Especiais
✔ Síntese de Materiais de Alta Temperatura
- Auxiliares de Sinterização (por exemplo, B₄C, AlN) – Quimicamente inertes em ambientes a 2.000°C+.
- Crescimento de Cristal (por exemplo, Al₂O₃, ZnSe) – Não reativo com materiais fundidos.
 

FAQ

 
P1:Quais tamanhos de wafer são suportados?
Padrão: 150mm (6"), 200mm (8"), 300mm (12"). Personalização disponível mediante solicitação.
 
P2: Qual é o prazo de entrega para designs personalizados?
- Modelos padrão: 4–6 semanas.
- Totalmente personalizado: 8–12 semanas (dependendo da complexidade).