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2023-08-16
01
Semicondutor Co. de Hebei Tongguang, Ltd
Presentemente, a tecnologia de uso geral para sintetizar o pó do carboneto de silicone da alto-pureza adota principalmente a síntese de circuito integrado de alta temperatura do pó do silicone da alto-pureza e do pó do carbono da alto-pureza, auto-propagando a saber a síntese de alta temperatura. Para resolver sic o problema da concentração de impureza alta do nitrogênio na síntese tradicional da auto-propagação do pó, o semicondutor Co. de Hebei Tongguang, Ltd. inventou um baixo método da síntese do pó do carboneto de silicone da concentração de impureza do nitrogênio que pudesse ser usado para o crescimento da alto-pureza que isola semi cristais sic únicos. Este método usa as substâncias da remoção do nitrogênio que se submetem a reações químicas com elementos do nitrogênio em altas temperaturas. Os nitretos formados existem em um formulário estável dentro da variação da temperatura da síntese do carboneto de silicone, evitando eficazmente impurezas do nitrogênio de entrar na estrutura do carboneto de silicone. Quebra com o método tradicional atual da síntese de matérias primas do carboneto de silicone e consegue a síntese de matérias primas satisfeitas do carboneto de silicone do baixo nitrogênio, com um índice do nitrogênio abaixo 2 do × 1016 pieces/cm3, que é particularmente apropriado para o crescimento da alto-pureza que isola semi cristais sic únicos.
Presentemente, o método o mais eficaz para crescer sic cristais é o método físico do transporte do vapor (PVT), e os cristais formados em sistemas da sublimação têm uns mais baixos níveis do defeito, fazendo lhes a tecnologia de produção em massa comercial principal. Ao usar o método de PVT para crescer sic cristais, o equipamento do crescimento, os componentes da grafite, e os materiais de isolação não podem evitar ser contaminada por impurezas do nitrogênio. Estes materiais fixarão uma grande quantidade de impurezas do nitrogênio, tendo por resultado um índice alto de impurezas do nitrogênio sic nos cristais crescidos.
Presentemente, a pureza da alto-pureza pulveriza sic as matérias primas produzidas comercialmente pode geralmente somente alcançar 99,999%, com um índice do nitrogênio na maior parte do × que de 5% um nível de mais de 1016 units/cm3 afeta seriamente o índice em seu produto subsequente - alto-pureza do nitrogênio que isola semi cristais de carboneto de silicone únicos. Consequentemente, reduzir o índice de impureza do nitrogênio em matérias primas do pó é da grande importância para a preparação da alto-pureza que isola semi cristais do carboneto de silicone. Abaixo, com base na informação de patente de diversas empresas conhecidas divulgadas por Tianyancha, as tecnologias relevantes para a preparação do pó do carboneto de silicone da alto-pureza são introduzidas.
Este método inclui as seguintes etapas:
(1) mistura a matéria prima do silicone e matéria prima do carbono completamente;
(2) adicionam substâncias da remoção do nitrogênio à mistura de matérias primas do silicone e de matérias primas do carbono, e colocam então o cadinho que contém substâncias da remoção do nitrogênio e matérias primas da mistura do silicone do carbono na câmara da reação; O material do cadinho é grafite da alto-pureza, com uma pureza de mais de 99,9995%;
(3) limpe a câmara da reação para reduzir o índice do oxigênio e do nitrogênio na câmara da reação;
(4) aqueça a câmara da reação, levante a temperatura, e faça com que a substância da remoção do nitrogênio reaja com o elemento do nitrogênio, formando um formulário do sólido ou do gás do nitreto que não decomponha abaixo do ℃ 2400;
(5) injete o gás inerte na câmara da reação, mantenha a pressão da câmara da reação, para aumentar gradualmente a temperatura da câmara da reação, para fazer com que a matéria prima do carbono e a matéria prima do silicone reajam, gradualmente fresco à temperatura ambiente, e para terminar a reação;
(6) removem o nitreto do carboneto de silicone obtido para obter a matéria prima satisfeita do carboneto de silicone do baixo nitrogênio.
02
Semicondutor Co. de Tankblue do Pequim, Ltd
Tianke Heda inventou um método da preparação para o pó satisfeito do carboneto de silicone do baixo nitrogênio e cristal de carboneto de silicone o único. O método da preparação inclui as seguintes etapas: pó de mistura do silicone da alto-pureza, pó da grafite da alto-pureza, e matéria orgânica da alto-pureza temporária, e deixar a matéria orgânica da alto-pureza temporária evaporar a menos de 10% da massa inicial sob uma atmosfera inerte. O material misturado é aglomerado para obter o pó satisfeito do carboneto de silicone do baixo nitrogênio. A invenção usa-se compostos orgânicos temporários e da alto-pureza para remover o nitrogênio da superfície das matérias primas e dos limites de grão durante a preparação do pó do carboneto de silicone, reduzindo desse modo o índice do nitrogênio no produto. Os resultados experimentais mostram que o índice do nitrogênio do pó do carboneto de silicone e do único cristal é menos de 5 o × 1016 pieces/cm3.
03
Semicondutor composto Co. de Zhongdian, Ltd
O semicondutor composto Co. de Zhongdian, Ltd. inventou um método da síntese para o pó do carboneto de silicone, que inclui: pó de mistura do carbono da alto-pureza e pó do silicone da alto-pureza, e carregamento deles em um cadinho da grafite. O cadinho da grafite é alinhado com grafite fluorinated, e o cadinho da grafite é colocado na cavidade da fornalha; Levante a temperatura da câmara da fornalha, e durante o processo de aquecimento, uma mistura do hidrogênio e o gás inerte são introduzidos na câmara da fornalha, e o forro fluorinated da grafite decompõe para liberar gás fluorinated; Extraia o gás da câmara da fornalha, fazendo com que o pó do carbono da alto-pureza reaja com o pó do silicone da alto-pureza para obter produtos intermediários; Levante a temperatura da câmara da fornalha para fazer com que os produtos intermediários da fase reajam e gerenciam o pó do carboneto de silicone. Fornecendo um método para sintetizar o pó do carboneto de silicone, o pó do carboneto de silicone da alto-pureza pode ser obtido.
04
Shandong SICC avançou a tecnologia Co., Ltd
Tianyue avançado inventou um dispositivo e um método para preparar o pó do carboneto de silicone, que inclui: um corpo da fornalha, com uma placa da separação instalada dentro do corpo da fornalha. Quando a placa da separação é fechado, a parte dentro do corpo da fornalha está dividida em duas porções; Quando a separação é aberta, o corpo da fornalha está conectado internamente; A superfície do elétrodo pelo menos é coberta parcialmente com as matérias primas da fonte de carbono; Cadinho, colocado dentro do corpo da fornalha; O cadinho e o elétrodo submetem-se ao deslocamento relativo para permitir que o elétrodo entre ou saa do cadinho. Durante o processo de derretimento de matérias primas da fonte do silicone, uma separação é usada para separar as matérias primas da fonte do silicone e matérias primas da carbonização na fornalha, evitando a evaporação do líquido do silicone durante o aquecimento e a cristalização nas matérias primas da carbonização, que afeta o crescimento do pó e melhora a qualidade do crescimento do pó. Este método pode impedir a evaporação do líquido do silicone durante o processo de derretimento de matérias primas e de cristalização da fonte do silicone nas matérias primas carbonizadas controlando a abertura ou fechando da separação, tendo por resultado o baixo índice de impureza do nitrogênio e o outro índice de impureza no pó obtido. Pode ser usado para a preparação de cristais do carboneto de silicone da alto-pureza.
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